中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy #293654427 を販売中
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TEL/TOKYO ELECTRON INDYは、エッチングやアッシング時の精度、精度、信頼性をユーザーに提供する次世代のエッチャー/アッシャー機器です。この強力なツールには、TELの最新技術が搭載されており、エッチング/アッシングプロセス中に最高レベルのパフォーマンスを保証します。TEL Indyは、濡れたエッチングと乾燥したエッチング、アッシングおよび光化学プロセスの両方を可能にします。このプロセスの柔軟性の向上により、基板に必要な正確なエッチング/アッシング定義を実現できます。TOKYO ELECTRON INDYは、基板の同時積み降ろしを可能にするデュアルロードロック設計により、より高速な加工を実現します。さらに、Indyは基板の安全な取り外しとローディングのための特許取得済みの「リフトダウン」ウェーハ輸送システムを提供しています。この特徴は傷を減らし、よりよいプロセス正確さを提供します。TEL/TOKYO ELECTRON Indyオイルフリーバッキングとハイスループットを備えた堅牢な3段式真空ターボポンプは、基板の損傷を最小限に抑え、高速処理を必要とするプロセスを革新する上で非常に貴重です。TEL Indyは、精密な温度制御と均一な加工のための3ゾーンのチャンバー設計を誇っています。高精度モーションコントローラは、ナノスケールのエッチング/アッシングプロセスに高い精度と再現性を提供します。TOKYO ELECTRON INDYでは、サポートとメンテナンスのためのリモートアクセス、マルチアレイ処理機能、ユニットの完全自動運転用ソフトウェアなど、さまざまな高度な自動化機能を提供しています。最後に、Indyは安全機能を内蔵した唯一のエッチャー/アッシャーマシンです。鉄骨フレームは工具全体を囲み、潜在的なデバイスの危険を最小限に抑えます。TEL/TOKYO ELECTRON INDYには、潜在的なガス漏れを監視し、危険な状況が発生した場合に資産を停止するセンサーもあります。結論として、TEL Indyは、高精度、高精度、および信頼性を必要とする基板のエッチングおよびアッシングに最適です。デュアルロードロック設計、3ゾーンチャンバー、高精度モーションコントローラ、高度な安全機能により、業界最高のエッチングとアッシング結果を提供します。
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