中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy #293648515 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Indyは、半導体加工用に特別に設計された高性能な拡散エッチャー/アッシャーです。この装置は、高エッチング率、均一性、再現性、および主要プロセスパラメータの精密制御などの機能を備えており、デジタルおよびアナログの両方のアプリケーションで優れた半導体デバイス製造性能を達成するのに役立ちます。TEL Indy装置は、用途に応じて、シリコン、金属、酸化物、窒化物など、さまざまな材料を処理するように構成することができます。シリコンでは、µmからµmまで幅広いエッチング率の厚膜を処理することができ、ウェーハ表面全体で+/-5％の優れたエッチング均一性を実現します。これらのメリットは、ウェーハの歩留まりの向上、スループットの向上、生産コストの削減につながります。TOKYO ELECTRON INDYユニットは、既存の半導体処理環境に容易に組み込むことができるフットプリントとモジュラー設計の2モデルを用意しています。2つのモデルの主な違いは、RF/DCまたはRF/マイクロ波のプラズマ源であり、幅広い基板およびプラズマベースのプロセスに適しています。Indyマシンには、モニターウィンドウ、表面検索センサー、オゾン除去機能付きベントファンなど、オペレータと環境を保護する高度な安全機能が装備されています。グラフィカルなオペレーティングツールやプロセス管理アセットなどのソフトウェア機能により、フルモデルオートメーションが可能です。また、TEL/TOKYO ELECTRON INDY装置の現場監視システムにより、ウェーハパラメータのリアルタイム解析が可能となり、プロセス監視と管理が向上します。TEL Indyユニットは、半導体デバイス製造のための強力なツールであり、デバイス設計に信頼性と精度の高い処理を必要とする組織に利益をもたらすことができます。高度な安全性とオートメーション機能により、生産コストを削減し、環境安全を確保しながら歩留まりを向上させることができます。