中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy #293627658 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON INDYは、半導体、MEMS、ナノテクノロジー業界の高生産率・高精度エッチング工程向けにTELが製造するエッチャー/アッシャー装置です。このシステムは、高い精度で重要な機能のエッチングを可能にし、安定性と信頼性を向上させる自動プロセス制御機能を備えています。TEL Indy Asherにはデュアルモードプロセスチャンバー設計が施されており、上下のガス配分により、プロセスの柔軟性を最適化しています。上部プロセスチャンバーは、蒸着プロセスに使用され、RF発電機、シャワーノズル、加熱コイルが装備されています。下部のチャンバーはエッチングに使用され、RF発電機とシャワーノズルが装備されています。これにより、蒸着とエッチングの両方を同時にプロセス制御および監視することができ、プロセスの再現性と再現性が向上します。TOKYO ELECTRON Indy Asherは、ウエハサイズ200mm、 300mm、 4インチ、8インチなどの特殊サイズに対応しています。このユニットには、安定したプロセス条件を維持し、粒子生成を低減できるインテリジェントな負荷制御チャンバも装備されています。また、線形エッチングと非線形エッチングの両方をサポートします。Indy Asherマシンには、高速ステージ、オートフォーカス、XYZ回転ステージなどの高精度モーションコントロールシステムが搭載されており、正確な位置決めが可能です。自動化されたプロセスレシピ管理機能により、プロセススループットを向上させ、製品品質を向上させます。また、プロセス監視と制御のためのタッチパネル、ジョブトレーシングと生産記録のための高度なデータストレージツールも備えています。プロセスの安全性と再現性を確保するため、TEL/TOKYO ELECTRON INDY ASHERには、プロセス・フォルト診断、温度制御システム、ウェハバイウェハプロセス制御が搭載されています。この資産は、多層エッチングと蒸着を可能にするために、NF3、 CF4、 NH4ClFなどのさまざまなガスとも互換性があります。全体的に、TEL Indy Asherは、洗練されたプロセス機能、正確で再現性のあるエッチングプロセス、信頼性の高いプロセス制御を提供するように設計されています。精密エッチングを必要とする高度なMEMS、半導体、ナノテクノロジーのアプリケーションに最適です。