中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #9389742 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plusは、半導体産業におけるフォトリソグラフィおよびエッチング工程用に設計されたエッチャー/アッシャーです。この高度なエッチング装置は、ICデバイスの大量生産に最適です。サイズは数ミクロンに及ぶ高精度なパターニングが可能です。高い精度と再現性を備えたこのシステムは、高度で複雑なコンポーネントをエッチングしてパターン化する費用対効果の高い方法を提供します。TEL INDYPLUSは、IC製造に使用されるシリコン、二酸化ケイ素、窒化ケイ素など幅広い材料をエッチングすることができます。また、サブミクロンから5ミクロンのサイズまで、さまざまな機能を使用できます。さらに、このユニットはカスタマイズ可能なパラメーターを幅広く備えており、ユーザーは各アプリケーションに最適な結果を得るためにエッチングプロセスを磨くことができます。機械の主要な部品は3つの本質的な要素を含んでいます：エッチャー/アッシャー、ガス配達用具およびポンプユニット。エッチャー/アッシャーは、パターンを目的の材料にエッチングするために使用されるデバイスです。エッチャー/アッシャーは、解離によって材料を除去し、水素ガスと結合して化学混合物を形成し、エッチャー/アッシャーで加熱してエッチング処理を加速します。ガス供給資産は、エッチャー/アッシャーに所望のガスを給油する責任があります。また、最適なエッチング結果のためにガスが最適な濃度にあることを保証します。ポンプユニットは気密モデルを作成するために使用され、エッチャー/アッシャーに供給される前にガスを正確に測定および制御することができます。TOKYO ELECTRON INDY PLUSは、高性能で費用対効果の高い装置であるため、半導体業界のフォトリソグラフィやエッチングに最適です。洗練された制御と精密なエッチング結果により、最適な性能を持つ多種多様な洗練された部品の製造に使用できます。