中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #9388215 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus
ID: 9388215
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2010
Furnace, 12" Process: ALD High-K 2010 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plusは、半導体製造用に設計された高度な装置です。半導体エンジニアが業界の最前線でマイクロエレクトロニクスデバイスを作成し開発することを可能にするように設計された、化学機械研磨(CMP)デバイスとしても知られるエッチャー/アッシャーマシンです。TEL INDYPLUSは6軸、高速、高精度のマシンアーキテクチャを備えており、特定の課題に対応するスループットを向上させる拡張性があります。高度なプロセス機能とカスタマイズ可能なパラメータを備えたモジュラー設計を使用して、望ましいパフォーマンスを実現します。また、特定のプロセスコンポーネントを使用して構成することもでき、エンジニアはシステムを特定のニーズに合わせることができます。TOKYO ELECTRON INDY PLUSは、高度なAS制御ユニットを提供し、非常に微細なプロセスチューニングを可能にします。これには、プロセスの制御性と柔軟性を向上させる自動制御マシン(ATFツールとも呼ばれる)が含まれます。このアセットには、エッチングおよびポリッシュプロセスのさまざまなパラメータを検出および記録できる高性能センサ解析モデルも搭載されています。TOKYO ELECTRON INDYPLUSは、高度な冷却装置プログラムにより、ダウンタイムを最小限に抑えた大量生産を提供します。このシステムにより、エンジニアはプロセスを自動化し、手作業による介入を減らし、生産性を向上させ、歩留まりを向上させることができます。TEL INDY PLUSは高度な計測機能も備えており、正確で再現性の高いプロセス監視が可能です。高分解能二次電子顕微鏡(SEM)やEDX(モデル)などの高度な計測方法を使用して、エッチング工程の結果を監視することができます。Indy Plusは全般的にエッチャー/アッシャーユニットであり、半導体デバイス製造のための高精度で信頼性の高いプロセスをエンジニアに提供します。モジュラー設計とカスタマイズ可能なコンポーネントにより、ユーザーはマシンを特定のニーズにマッチさせることができます。高度なプロセス制御ツール、自動化された資産制御、冷却プログラム、高度な計測機能により、正確かつ再現性の高い結果が得られ、TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUSは市場で最も汎用性の高いエッチャー/アッシャーシステムの1つです。
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