中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #9384128 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plusは、半導体業界における高精度加工ニーズに対応して開発された先進エッチングツールです。高精度で再現性のあるエッチング、アシャリング、平面化層に使用できます。このツールは、優れたジョブの均一性のためのマルチゾーンチャンバー設計が含まれています。異なる圧力、温度、組成に耐えることができる7つのゾーンがあり、エッチング過程で均一な結果をもたらします。酸化皮膜、金属、ポリシリコン、レジストなど、さまざまな材料をエッチングすることができます。TEL INDYPLUSには、エッチングプロセスの均一性と信頼性を高める高度なガスエッチング技術も搭載しています。このガスエッチプロセスは、ガスの流れを操作してエッチプロファイルの均一性を高め、スループットを向上させ、浅い溝などのエッチング深度を向上させます。TOKYO ELECTRON INDY PLUSでは、高い信頼性と耐久性により、オーナーシップのコストを抑えたエッチングレシピを幅広く提供しています。プログラマブルロジックコントロールユニットは、正確なプロセス制御を保証し、ツールがユーザーフレンドリーであることを保証します。コントローラは、さまざまな通信プロトコルと互換性があるため、既存のプラントMISシステムと容易に統合できるように設計されています。外部リモートコンピュータインターフェイスが利用可能で、ユーザーはWebベースのインターフェイスを介してエッチングプロセスを監視できます。ユーザーは、プロセス管理と分析のために安全なWebサーバーにアクセスすることもできます。これにより、重要なエッチデータを取得してプロセスの最適化を改善するためのプロセス性を分析し、理解することができます。このツールはエッチャースループットを高め、プロセスのサイクル時間を短縮するためにエッジリング技術を使用しています。これは、アニールされた酸化アルミニウムを使用して、電極、誘電体、および金属間の円筒形の接続を形成することによって動作します。アニールされた酸化アルミニウムの端リングはエッチングガスに不透明であり、エッチングに抵抗し、より多くのエッジ制御とより深いエッチングを可能にします。TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUSには、大型複合構造物を解析・加工する高度な技術が搭載されています。この技術により、ユーザーはより正確にエッチングし、エッチング処理をより均一に制御することができます。このツールはメンテナンスフレンドリーで、精密エッチングのための最新の最先端技術を提供しています。