中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #9377463 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plusは、EUVフォトマスクブランクに特化したエッチャー/アッシャーです。EUVフォトマスクブランクをリソグラフィの準備ができたEUVペリクルに正確にエッチングしてパックするために使用されます。このデバイスは、エッチングとパッキングの品質と効率を最大化するための高度な機能を備えています。TEL INDYPLUSには、マルチビームオプティカルアライメント装置が搭載されています。この高度な技術は、正確な精度でペリクル上のフォトマスクブランクの正確な配置を提供します。また、各ブランクごとに個別のアライメントデータを生成することができ、複数のブランケットに対して非常に正確なアライメントを得ることができます。TOKYO ELECTRON INDY PLUSは、高圧、低圧、低電圧プラズマエッチングチャンバーも備えています。このチャンバーは、時間の経過とともに負荷を最小限に抑えて超高エッチング率を生成することができます。東京エレクトロンINDYPLUSは、高度なプロセスにより、低重力または低温プロセスを実行しても、非常に一貫したエッチング結果を得ることができます。最後に、TOKYO ELECTRON Indy Plusには、専用のEUVペリクル包装技術が組み込まれています。この技術は、ペリクル上のマスクの正確な梱包と位置決めを保証し、ブランクの非常に均一で正確な梱包をもたらします。TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUSには、大量のマスクを自動梱包するための自動梱包・アライメントユニットも装備できます。結論として、TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUS Etcher/Asher from TELは、EUVペリクルに正確にアライメントされ、パックされた高品質のEUVフォトマスクブランクを生成することができる高度なデバイスです。このデバイスは、マルチビーム光学アライメントマシン、強力なプラズマエッチングチャンバー、および特殊なEUVペリクル包装技術を備えています。これらの機能はすべて、ユニークで高度なエッチングと梱包体験を提供するために組み合わされています。