中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #9375631 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plusは、半導体アプリケーションに使用される高度なエッチャー/アッシャーです。大型のSi、複合、合金ウェーハを高精度かつ高速に加工するために設計されたマルチチャンバー装置です。TEL INDYPLUSの高速動作は、ハイエンドDC/RF電源により可能で、工具に必要な最大2,000ワットの電力を供給できます。また、高度なマルチガス制御システムと高度なガス混合センシングユニットにより、精密なエッチングとアッシングプロセスを実現しています。また、高精度で高速な膜厚モニターを搭載し、正確なプロセス制御を実現しています。TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUSは、手動操作エラーを排除し、オペレータの疲労を軽減する自動ウェハハンドリングとローディングも提供しています。さらに、高度なプリクリーニングとプロセス制御オプションが含まれており、制御された一貫性のあるクリーニングとプリプロセスにより、解像度と速度が向上します。TEL INDY PLUSは、高度なウエハマッピング機能も備えています。この高度なマッピング技術は、プロセスの開発と進化を監視するための詳細なプロセスマップを提供します。また、高度なインラインメトロロジーマシンを搭載し、正確なリアルタイムウェハデータをキャプチャして表示します。最後に、INDY PLUSには、同社のグローバルサポートチームが提供する信頼性の高いリモートサービスツール監視およびリモート反応制御も付属しています。これにより、ユーザーは資産の問題をリモートで診断して検出することができ、ユーザーは迅速かつ効率的に応答することができます。全体的に、TEL Indy Plusは、高精度で高速な大型ウエハ加工用に設計された高度なマルチチャンバーエッチャー/アッシャーモデルです。ハイエンドDC/RF電源、高度なマルチガス制御装置、高精度フィルムモニタ、自動ウェハハンドリング、高度なウェハマッピング機能、高度なインラインメトロロジーシステムが含まれています。さらに、信頼性の高いリモートサービスシステムモニタとリモート反応制御を提供し、ユーザーは迅速かつ効率的に応答することができます。