中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #9375630 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plusは、高精度かつ高精度に設計された半導体デバイス製造用の革新的なエッチャー/アッシャーです。この装置は、高度なデータ制御、自動サンプル転送、およびすべてのエッチングおよび/またはアッシングプロセスのリアルタイムモニタリングを利用しています。TEL INDYPLUSはシングルウェーハとバッチ処理が可能で、スループットは1時間あたり最大1000ウェーハです。TOKYO ELECTRON INDY PLUSは、精密な温度制御（50°C〜500°C）とエッチング/アッシングチャンバーの表面全体に優れた均一性を備えた高度に制御された熱環境を提供します。また、反応性ガスやエッチング/アッシング化学物質の精密な配送を特徴とする化学配送制御も提供しています。これにより、結果の最大の均一性と再現性が保証されます。INDYPLUSは、エッチングおよび/またはアッシングに使用されるイオンのエネルギープロファイルを高精度に調整できる特殊なエネルギー源を備えています。これにより、エッチング/アッシング処理の制御が改善され、エッチング/アッシュ時間、異方性、プロファイルのロールオフ間のチューニングが向上します。この機能により、エッチング/アッシング処理をより大きな制御が可能になり、より高い精度と再現性が得られます。TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUSは、スピンウェーハステーションを自動化し、ウェーハ全体の均一なエッチング/アッシングのための精密なウェーハ回転を提供します。このユニットはまた、効率的なサンプル転送のために自動ロードロック転送チャンバを採用しています。これにより、手動サンプルの読み込みとアンロード操作が不要になり、各サンプルで必要なエッチング/アッシング処理が確実に実現されます。INDY PLUSはユーザーフレンドリーです。フルカラーのグラフィカルLCDユーザーインターフェイスを搭載しており、エッチング/アッシングパラメータを簡単にプログラム作成および修正できます。これにより、シングルウェーハおよびバッチ処理の迅速かつ簡単なセットアップと操作が可能になります。最後に、Indy Plusは質の高いカスタマーサポートサービスに支えられています。機械はあらゆる問題の場合に即時サポートを提供できるベテランのサービス技術者の大きいチームによって十分に支えられ、支えられます。TELはまた、包括的なトレーニングと認定プログラムを提供し、最適な結果を得るためにツールを最適に活用するために必要なサポートを提供します。