中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #9375629 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plusは、半導体製造業界の様々な用途に最適なエッチャー/アッシャーです。半導体製造のための効果的で効率的なエッチングとアッシングプロセスを提供するように設計されています。ウェーハからレジストなどの材料を除去するための物理/化学エッチングやアッシングに使用できるマルチステーションエッチャー/アッシャーです。TEL INDYPLUS装置は、汚染のない効率的で信頼性の高いエッチングおよびアッシングプロセスを提供するように設計されています。システムには、目的の層の正確なエッチングとアッシングを保証するいくつかの機能が装備されています。搬送方向、ライン速度、高さを正確に制御できる高精度コンベアユニットが特徴です。このマシンには、エッチングとアッシングのプロセス全体を制御するために使用できる強力なコントローラも装備されています。コントローラを使用して、温度、圧力、ガスの流れなどのさまざまなパラメータを監視し、最適な結果を得ることができます。TOKYO ELECTRON INDY PLUSには、熱反応プロセスチャンバーや基板回転機など、数多くのプロセスチャンバーが搭載されています。熱反応処理チャンバーは、エッチングとアッシングに最適な環境を提供するように設計されています。それは高温を作成し、望ましい層の取り外しを保障することができます。基板回転子は、エッチングとアッシング中に最大限の均質性と生産性を提供するように設計されています。TEL INDY PLUSは、誘電体だけでなく、金属やポリシリコン層をエッチングし、アッシングすることができます。金属エッチングやアッシング用の特殊エッチングガスを搭載し、イオン注入プロセスも可能です。このツールは、高い精度と再現性を確保するように設計されており、緊急時にプロセスを停止するための緊急シャットオフ資産など、多くの安全機能を備えています。このモデルは、さまざまなウェーハサイズと互換性があり、グラフィカルユーザーインターフェイスでユーザーフレンドリーに設計されています。また、ユーザーがエッチングとアッシングのプロセス履歴を確認することができるデータロギング装置が装備されています。システムはまた、その性能を維持するために簡単に交換または修理することができる部品が装備されているため、長い耐用年数を確保するように設計されています。Indy Plusは、半導体製造業界のエッチングおよびアッシングプロセスに最適なソリューションです。堅牢な設計、信頼性、ユーザーフレンドリーな機能により、信頼性の高いエッチングとアッシングプロセスを最適な結果で提供します。