中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #9375627 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus
ID: 9375627
Furnace.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plusは、湿式化学処理を用いた基板の高度な精密エッチング用に設計されたリーディングエッチャー/アッシャーです。半導体製造、MEMS製造、マイクロコンポーネント製造など、さまざまな産業分野で広く使用されています。TEL INDYPLUSは、フォトレジスト前処理や後処理、基板エッチング、無電解金属の成膜などのプロセス向けに設計されています。TOKYO ELECTRON INDY PLUSは、エッチング工程をより高度に制御しながら、精度と生産性を高めるさまざまな機能と機能を備えています。独自のドライプラズマ前処理により、エッチング前に均一で汚染されていない基板を保証します。RF発電機は、エッチングプロセスに正確な電力レベルを提供し、生産性と精度を向上させます。エッチャー上に直接設置されたデジタルゲージは、所望の結果に従って圧力と温度を維持します。また、透過モニターを搭載し、エッチング工程をリアルタイムにモニターすることができます。この機能により、ユーザーは温度、圧力、流量を監視し、必要に応じてエッチング工程を調整することができます。エッチャーには、エッチング雰囲気における重要なガスの存在を継続的に測定する特許取得済みの環境モニターも装備されています。これは、危険な乾燥剤の蒸気なしに適切なエッチング条件を確保するのに役立ちます。TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUSは、様々な安全機能を提供しています。独自の電解液容器システムにより、腐食性の液体との接触から人員を保護しながら、漏れやクロス汚染を防ぎます。そのノズルは、最高の産業安全基準を念頭に設計されており、ユーザーとエッチング剤との接触を保証しません。INDYPLUSは深刻なエッチングの適用のための理想的な選択です。高精度、堅牢な制御、安全機能、高度な技術力を兼ね備えているため、市販のエッチング用途に最適です。
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