中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #9358355 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plusは、ウェットエッチングやドライエッチングによく使われるエッチャー/アッシャーです。TEL INDYPLUSは、2つのプロセスチャンバーと1つのトランスファーチャンバーを備えた3ゾーン装置で、各プロセスチャンバーに独立したプラズマ源と避難用シャッターを備えています。TOKYO ELECTRON INDY PLUSは、研究や業界設定に適しており、最大200mmまでの基板加工に使用できます。TOKYO ELECTRON INDYPLUSのプロセス制御システムにより、エッチングレシピのセットアップと切り替えが簡単に行えます。ウェットエッチング、リアクティブイオンエッチング（RIE）、金属エッチング、内層エッチング、ウエハ裏面エッチングなど、さまざまなエッチング処理が可能です。エッチングプロセスは、チャンバー圧力、プラズマ出力、プロセス時間、ガスフローなどのカスタマイズされたプロセス条件を作成するためにカスタマイズすることもできます。Indy Plusはプログラム可能なシャッターも備えており、ユーザーはエッチング条件に基板を関連付けることができます。これにより、透過率、厚さ、材料の種類などの基板特性に応じてエッチング処理を最適化できます。TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUSは、エッチング時の温度管理を可能にする温度制御機能を搭載しています。これにより、プロセス温度を正確に制御することができ、一貫性のあるエッチング結果を保証し、材料のばらつきを最小限に抑えます。TEL Indy Plusは、互換性とプロセス監視のために十分に装備されています。このマシンはTEL TEMコントローラーと互換性があり、エッチング率などのエッチング品質のインプロセス監視を提供します。さらに、INDY PLUSはウェーハ転送プロトコルをサポートしており、ポストエッチング解析のための基板をチャンバー外に転送することができます。最後に、INDYPLUSは、リモートエマージェンシーストップボタンだけでなく、漏れ防止シャッター設計を備え、安全のために設計されています。TEL INDY PLUSは、信頼性の高いエッチング結果、プロセス制御、およびプロセス監視を提供する高度なエッチャー/アッシャーです。その汎用性は、ウェットエッチングからウェハバックサイドエッチングなど、多くの研究および業界アプリケーションにとって貴重なツールになります。高度な安全機能を備えたTEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUSは、精度と信頼性を備えたエッチングをお探しの方のための強力なツールです。