中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #9353223 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUSは、TEL （TOKYO ELECTRON）製のエッチャー/アッシャー装置で、電子機器のハイエンド・フルスケール生産を目指して設計されています。これは、物理蒸着（PVD）や、半導体ベースおよび有機ベースの材料を中心に、さまざまな材料から作られたデバイスのエッチングに最適です。TEL INDYPLUSは、基板の両面を同時にコーティングできるデュアルソースシステムを備えています。この機能により、ユーザーは、各側面の個別の処理のための追加のステップを実行することなく、デバイスの両側が所望の仕様を満たすことを確信していることができます。TOKYO ELECTRON INDY PLUSには、簡単にあらかじめプログラムして保存できる複数のレシピも用意されています。これにより、一貫したデバイス生産に必要なエッチングパラメータを正確に再現できます。TOKYO ELECTRON INDYPLUSは、基板全体に均一なエッチングを保証する、実証済みの信頼できる同期チャンバーエッチング技術を採用しています。これにより、エッチング材の不要な残留物を最小限に抑え、両面エッチング技術によりエッチングに必要な時間を短縮することができます。さらに、ユニット内のAdvanced Process Control （APC）機能により、ユーザーはエッチング処理を完全に制御できるため、圧力、圧力勾配、室温、温度勾配などのエッチング変数を意図的にチューニングできます。このマシンは、ウェットおよびドライクリーニングプロセスを使用して仕上げを微調整するなど、エッチング後の処理にさまざまなオプションを提供します。リフトピンやハイアスペクト比トレンチなどの機能も充実しています。INDYPLUSには、インターロックや真空警告ツールなどの安全機能が内蔵されており、真空が特定の予め設定されたレベルを超えるとオペレータに警告します。全体的にTEL Indy Plusは、電子機器のハイエンド生産に最適な資産です。それは信頼性が高く、非常に効率的であり、これらのデバイスを何度も何度も最適化して再現可能にするさまざまな機能を提供します。