中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #9315271 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plusは、半導体製造用に設計されたエッチャー/アッシャーです。これは、複数のチャンバとウェーハトランスポートシステムを含むプロセスモジュールプラットフォームに基づいた高度なエッチングプラットフォームです。TEL INDYPLUSモデルは、アッシャーとエッチャーとして使用することができ、半導体デバイスの精密エッチング処理のさまざまなニーズに合わせて異なるパラメータで動作することができます。TOKYO ELECTRON INDY PLUS（東京エレクトロンインディープラス）は、850℃から50-350Wまでの出力で、高スループットの100mm加工を実現します。これにより、望ましい温度での基板生産に最適な使用が可能になります。TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUSは、表面に+/-43。5nmのターゲット基板均一性を有しています。ウェハ温度を監視する光学センサー、高解像度のバックグラウンドモニター、潜在的な放射線などの危険から人員を保護するための装甲ガードなど、自動化されたインターロックと安全機能を備えています。TOKYO ELECTRON Indy Plusは、CVDエッチング技術を活用しています。この技術は、シリコン、酸化物、窒化物などの薄膜層をエッチングするために使用されます。1枚のマスクで高解像度、深さ、均一な溝を作り出すことができ、ウェーハからウェーハまで再現可能です。TEL INDY PLUSにはいくつかの特殊なプロセスがあります。単分散洗浄プロセスによるパーティクルプロファイルの捕捉、プラズマ強化プロセスによるリソグラフィーパターニング結果の改善、およびエッチング損傷を低減するアニール面が可能です。INDY PLUSはまた、迅速なプロセス設定と安定したエッチングプロセスを可能にするガス供給システムを提供しています。TEL Indy Plusは、さまざまなウエハサイズとタイプに対応できます。直径200mmまでの基板加工が可能で、ウェーハの最大重量は1。5kgです。また、サファイアや酸化物ウェーハなどの高感度で高価な基材にも対応できます。TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUSには、温度変動を低減するグラファイトステージとチャック、低漏れ低圧キャリア、プロセス制御用RFジェネレータがあります。INDYPLUSに優秀なプロセス品質の機能があります。バイパス周波数制御、制限周波数制御、オシロスコープ機能などの機能を備えています。また、線幅の変化、エッチング速度の変化、汚染を検出する高度なビジョンソフトウェアとともに、イメージングを改善するための光源構成の配列も提供しています。Indy Plusエッチャー/アッシャーは、半導体デバイスの精密エッチング処理のための強力で高度なエッチプロセッサです。それは最も敏感で、困難な基質の速く、信頼できるエッチングを提供できます。東京エレクトロンINDYPLUSは、シリコン、酸化物、窒化物、HF、 CF、フォトレジストなどのエッチングプロセスに最適です。ハイスループット、高解像度エッチングと均一性、各種基板のサイズと種類、ガス供給システム、画像処理を改善するための高度なビジョンソフトウェアなど、さまざまな機能を備えています。