中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #9296775 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plusは、半導体ウェーハ製造における高解像度マイクロパターンの製造を行うエッチャー/アッシャーです。TEL INDYPLUSは、精度と再現性に優れた20nmまでのパターンをエッチングし、精密なマイクロパターン転送を可能にします。TOKYO ELECTRON INDY PLUSは、エッチングの深さやパターンサイズをコントロールできる制御性の高い機能を搭載しています。ガス供給、圧力、流量、エッチング速度、すすぎ、プラズマエッチングパターンなどの深度制御パラメータを制御できます。ユーザーは、レシピ機能温度を介してエッチングの深さとパターンサイズのバランスを調整することができ、目的のマイクロパターンを達成することができます。このエッチャー/アッシャーには、リアルタイムのエッチング/洗浄時間と温度監視用のデジタル表示も含まれています。INDYPLUSのetcher/asherはまた運転の最高の安全そして性能を保障するように設計されている高度のろ過システムが付いている統合された排気装置を提供します。排気フィルターを内蔵しており、ガスの排出や臭気、ホコリの発生を抑えながら、有害物質の漏れを防ぎます。さらに、ガス排気や熱伝達に関連する排気ユニットのパラメータを制御する機能も備えています。TOKYO ELECTRON Indy Plusには、過剰な加圧や酸性溶液の漏れを防ぐ安全装置が内蔵されています。安全ツールは、エッチングパラメータをより適切に制御し、エッチングの深さ、パターンサイズ、コントラストを簡単に調整できます。また、ガス漏れ、水漏れ、停電を迅速に検出する機能も含まれています。TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS Etcher/Asherは、さまざまな機能と制御機能を備えた効率的な生産ツールです。このエッチャー/アッシャーは、産業および研究アプリケーションのニーズに合わせて設計されており、最高の安全性で正確な結果を提供するエッチャー/ワッシャーをお探しの方に最適です。