中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #9267594 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plusは、多種多様なウェーハ処理を行うために設計されたエッチャー/アッシャーです。ウェハベースのさまざまなデバイスを作成するのに役立つ機能を備えています。ドライエッチングプロセスを使用しており、シリコン、酸化物、窒化物、金属、ポリマーなどのさまざまな材料の層を効果的かつ効率的にエッチングすることができます。その異方性エッチング速度により、層の厚さを正確に制御できます。また、エッチャー/アッシャーは、最大の領域でも化学的尾行と均一なパターンを低減するように設計されています。エッチングプロセスは、完全に自動化され、高度に制御可能で低温環境で完了します。装置はエッチャーチャンバー、ポンプチャンバー、ガスボックス、排気システムで構成されています。チャンバーをターゲット温度に加熱し、エッチングチャンバーにガス混合物を供給します。チャンバー内の温度は必要に応じて調整され、一貫性のあるエッチング工程を維持します。プロセス実行中に圧力と流量を調整することもでき、エッチング速度を正確に制御できます。TEL INDYPLUSにはドライエッチング方法もあり、追加のウェットプロセスが不要です。これにより、メーカーのコスト削減と環境へのメリットが得られます。さらに、ウェットエッチングサイクルが完了するまで待つ必要がないため、製造プロセスが加速されます。TOKYO ELECTRON INDY PLUSは、自動監視ユニットをはじめ、さまざまな安全機能を搭載しています。エッチングプロセスをリアルタイムで監視することができ、異常が発生した場合にはオペレータに警告します。さらに、Indy Plusは製造プロセスの完全なトレーサビリティを可能にし、お客様はプロセス全体で使用されるエッチング手順、使用される材料、およびパラメータを確認することができます。これにより、正確なプロセス追跡が可能になり、最高の品質基準を満たすことができます。全体として、INDYPLUSは精度、信頼性、利便性を提供するエッチャー/アッシャーです。自動化された機能により、高精度かつ高品質なウェーハベース製品を生産することができます。その安全性の特徴はまた、ウェハベースのデバイスの多種多様な製造に使用するための理想的なエッチャー/アッシャーです。