中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #9261886 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plusは、エッチング精度、スループット、および所有コストにおいて優れた性能を提供するために設計された、最先端の産業用グレードのドライエッチング装置です。このシステムは、半導体ダイやその他のデバイスの深いビア、トレンチ充填、および横方向エッチングを目的としています。これは、高度なプラズマ技術と優れたプロセスの再現性を可能にする高度なチャンバー設計を備えています。このユニットは、酸化物、ポリSi、窒化物、パリレン/パリー、スパッタリング、および化学蒸着など、幅広いプロセスウィンドウをサポートすることができます。マイクロファブリケーションチャンバーは完全に自動化されており、マルチレベルのハイテクタッチスクリーンコントロールと統合されたレシピプログラミングマシンを備えています。TEL INDYPLUSは、高分解能、高圧チャンバー、高温ウェーハ基板ホルダー、先進的な熱処理炉など、最新の技術で構築されています。また、クリーンで一貫したエッチングプロセスを促進するクローズドループのガス供給ツールも備えています。レーザービームプロファイラ（LBPP）アセットは、高精度なエッチングを可能にし、表面全体の精密で均一な深さ制御を可能にします。また、高度な光反射計（ORP）とオプティマイザ（OQP）システムを使用し、エッチング工程の品質に関する詳細な情報をユーザーに提供します。さらに、TEL INDY PLUSモデルは、統合診断機器も備えており、リアルタイムでシステムエラーを特定するのに役立ちます。この診断ユニットは、オペレータとエンジニアがプロセスの問題を迅速かつ正確に特定するのに役立ちます。INDYPLUSエッチングマシンの性能は、精度と精度の究極のレベルを提供し、精密かつ再現性のあるエッチング結果を可能にします。単層と多層の両方のエッチングに最適なツールであり、業界トップクラスの精度と一貫性を必要とするお客様に最適なエッチング資産です。