中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #9254679 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plusエッチャーは、プラズマエッチング、ドライエッチング、アッシング、イオンミリングなどの基板加工技術を応用した先進的なアッシャー技術です。高精度モーションとRFパワーコントロールを組み合わせ、幅広いエッチング用途や材料において優れたエッチング結果を提供します。様々な真空技術のために複数のプロセスチャンバーで構成されており、最大300mmの大型基板を取り扱うことができます。ウェーハ温度、RF電力、ガス圧力、ガス流量、エッチング圧力を正確に制御します。これにより、優れた品質と均一なエッチプロファイルが保証されます。独自の圧力制御とガス流量制御を組み合わせた独自のデュアルブレードリフトモーター機構を採用しているため、高感度で高解像度のエッチング作業に最適です。効率的なガスフロー構成により、均一なエッチングカバレッジと絶縁領域を確保し、高い再現性を実現します。この機械は、他のエッチングシステムと比較して非常に低い流量公差とプロセスの均一性を向上させ、厚膜と薄膜の両方をエッチングすることができ、細かい定義と整頓エッチングを可能にします。内蔵のシャッターは、最大のプロセス制御を保証し、敏感なアプリケーションに適しています。さらに、TEL INDYPLUS etcherは非常に柔軟性があり、幅広いエッチングプロファイルのエッチングプロセスを最適化するための包括的な機能を提供します。シングルチャンバーとマルチチャンバーの両方のエッチングを含む幅広い真空プロセス技術を提供し、エッチング工程中のガス混合物アドレスの変化を可能にします。TOKYO ELECTRON INDY PLUSエッチャーツールも高効率で、スループットの高速化と基板加工ジョブのターンアラウンドの迅速化を実現します。高性能なため、短期生産やプロトタイピング作業に最適です。モジュラー設計により、エッチャーは他のプロセスコンポーネントの位置を乱すことなくプロセスチャンバーを交換することができ、生産プロセスの効率的なセットアップを提供します。TOKYO ELECTRON Indy Plusは、エッチングパラメータを精密に制御する高度なエッチング資産です。TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUS etcherは、信頼性の高い性能、幅広いプロセス技術、効率的なプロセス制御により、エッチング用途に最適です。