中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #9250264 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plusは、リソグラフィ以前の高性能エッチャー/アッシャーです。シリコンや化合物半導体ウェーハから酸化物層を効率的に除去するために作られ、またレジスト層を剥離することができます。TEL INDYPLUSは、ウェーハの上面と底面の均一性など様々な特徴を考慮して設計されており、粒子汚染を起こさずにアッシング性能を制御することができます。TOKYO ELECTRON INDY PLUSには、ダイレクトリフロー・トップダウン・デュアル周波数プラズマ・ソースがあります。この設計により、ウェーハの上下面に均一なエッチング効果が得られ、スループットと精度が向上します。ウエハレベルの高度なプロセス制御システムを搭載し、精密かつ安定したエッチングとアッシング性能を実現しています。さらに、反応室内の圧力と温度のための組み込みモニタリングシステムがあります。反応チャンバーには、さまざまなエッチング/アッシング処理用の独自の電源システムがあります。これにより、エッチング層やフィルム、表面洗浄、残留物の除去など、さまざまなプロセス用に必要なプラズマ電力を選択できます。また、TEL INDY PLUSには、事故や死亡を防ぐ安全機能が内蔵されており、製品の損傷を軽減します。TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUSには、低圧、低消費電力、および処理ガスのタイミング制御を備えています。これにより、エッチング/アッシング処理中にウェーハに損傷を与えないことが保証されます。多種多様な基板を高効率で加工でき、表面に残留物が残らない。また、ユーザーのニーズに合わせてエッチングとアッシングパラメータの高速かつ安定したマッチングが可能です。結論として、Indy Plusはシリコンおよび化合物半導体ウェーハ用の汎用性と効率的なエッチャー/アッシャーです。強力なプラズマ源、ダイレクトリフローのトップダウン設計、および内蔵の安全機能により、高精度で一貫した均一な結果を提供できます。