中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #9235034 を販売中
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TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plusは、エレクトロニクス専門会社TELが製造するアッシャー/エッチャーです。この革新的なデバイスは、ウェーハや基板の精密エッチング処理を行うように設計されています。これは、ディスクの高速かつ効率的なロードとアンロードを可能にするディスク読み込みシステムを備えています。また、TEL INDYPLUSにはパラメーター制御と自動チューニング機能が搭載されており、生産歩留まりを最大化するために、特定のエッチング工程に最適化することができます。エッチャーは、最高品質の結果が得られるように、さまざまなエッチングガスを使用しています。TOKYO ELECTRON INDY PLUSは、加熱プラテンを使用して、エッチング工程を通じて試験片とウェーハを必要な温度に保ちます。これにより、温度変動や熱損傷を防ぐだけでなく、動作中の熱衝撃の可能性を排除するのに役立ちます。さらに、TEL INDY PLUSには、エッチング中の大気を維持し、不純物にさらされないようにするための真空装置があります。このユニットは、手動またはリモートの方法で操作できる洗練された制御システムを誇っています。コントローラはさまざまなパラメータを使用して、各エッチングレシピのパラメーターを正確に設定し、全体的な進捗状況を監視します。さらに、異なるプロセスと測定データを計算して保存することができ、ユーザーはエッチング結果を比較および分析することができます。継続的な分析により、このユニットはプロセス性能と製品品質を継続的に向上させる可能性を秘めています。INDYPLUSは、過熱防止システム、圧力検出機能、過負荷インジケータなど、潜在的な危険からユーザーを保護するためのさまざまな安全機能も備えています。これにより、不要なインシデントが発生しないようにプロセスがスムーズに実行されます。さらに、TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUSは、必要な汚染規制に準拠した優れた環境保護を提供します。合計すると、TEL Indy Plusは高度で正確で信頼性の高いアッシャー/エッチャーです。その独特な特徴と優れた安全対策は、さまざまな半導体および基板エッチング操作での使用に最適です。
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