中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #9229580 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plusは、高い生産性と信頼性を実現する最先端のエッチャーです。TELは、エッチング機器のリーディングメーカーとして、高品質な機械に優れた性能を提供することで知られています。TEL INDYPLUSは、高速スループットと信頼性の高い動作を提供することに重点を置いて製造されています。TOKYO ELECTRON INDY PLUSは汎用性の高いエッチャーです。シングルステップまたはマルチステップエッチング技術を使用して、高精度なフィーチャーサイズ制御により、超薄型、高アスペクト比の構造を作成することができます。ディープリアクティブイオンエッチング（DRIE）やドライエッチングなどの非接触プロセス向けに設計されています。また、アスペクト比の高い基板の高精度パターニングや、大容量の薄膜成膜が可能です。その真空互換性は、ナノリソグラフィープロセスに適しています。TEL Indy Plusは、オペレーターの安全な作業環境を確保するための高度な安全機能を備えています。電圧監視装置を内蔵し、電気ショックから保護します。適切な真空レベルを維持するための低メンテナンス、ノズル式の避難弁もあります。さらに、保護フードはボタンを押して操作することができ、オペレータは機械が動いている間、手を自由に保つことができます。INDYPLUSは、高度なプロセス機能を使用して、優れたエッチング性能を提供します。そのチャンバーは非常に効率的であり、エッチング処理をより少ないエネルギー消費で完了させることができます。このチャンバーは、幅広いプロセスウィンドウ機能を備えているため、さまざまな基板で柔軟に動作できます。さらに、高度な制御システムは、エッチング処理の正確なリアルタイム制御を提供します。温度制御ユニットは、圧力、流量、RF電源などのエッチングパラメータを正確に制御することもできます。TEL INDY PLUSは、エッチングの均一性、信頼性、スループット、蒸着制御を向上させます。SOIアプリケーション、Ni Nano-Wireアプリケーション、パーフォレーション&カットオフ/パッシベーション、PZT/強誘電性エッチング、MEMS/NEMSエッチング、ナノトレンチングなど、多くのエッチング関連タスクに人気があります。このマシンは、優れた結果を持つ高度なエッチングプロセスを実行したいユーザーに最適です。