中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #9211650 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plusは、フレキシブルで最先端のクライアントプロセスエッチャーです。それは効果的にマイクロエレクトロニクスの製造のためのいろいろな積層物、基質および金属および他の適用をエッチングします。幅広い基板サイズ、多くのプロセスの組み合わせ、使いやすいユーザーインターフェイスなど、複数のプロセスおよび材料機能を備えており、高精度の解像度を実現するインラインカメラ装置を備えています。TEL INDYPLUSは、TELの高度なエッチング装置の中で最も幅広いプロセス範囲を提供しています。この範囲には、プラズマエッチング、エッチバック、ウェットエッチング、パターニングが含まれます。このツールはまた、0。25ミクロンから5ミクロンまでの幅広いシステムラミネートおよび基板に対応する柔軟性を備えています。基板エッチング機能は、高解像度パターンがよく使用されるマイクロエレクトロニクスのメーカーにとって特に有益です。使いやすいユーザーインターフェイスにより、ユーザーはエッチングプロセスのすべての側面を完全に制御できます。パラメータ調整と繰り返しプロセスの実行を可能にします。MaxVUEツールライブラリは、クロッキングオプション、パルス幅、RFパワーの広い範囲にアクセスでき、完璧なシミュレーションに有益です。インラインカメラユニットは、エッチングされた各パーツをリアルタイムで表示する機能と、エッチングプロセスを光学的に測定する機能を提供します。これにより、生産中にCritical-Dimension （CD）コントロールが維持されます。これにより、エッチング処理がさらに簡素化され、ユーザーは基板全体の進行状況を監視できます。TOKYO ELECTRON INDY PLUSツールの高度な診断には、マルチポイントプラズマプローブが含まれ、ウェハ全体でCD測定と検証が可能です。このツールは、エッチング率が事前設定の許容範囲内に残っているかどうかを検出する機能も備えています。TOKYO ELECTRON INDYPLUSは、幅広いエッチングニーズに適しています。セットアップと操作が簡単で、幅広いプロセス機能により、マイクロエレクトロニクス製造やその他のプロセス制御アプリケーションに最適です。インラインカメラマシン、高度な診断、包括的な材料とプロセスオプションにより、さまざまなエッチングのニーズに適した堅牢な選択肢となります。