中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #9179439 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plusは、半導体の研究開発に使用されるアッシャーとしても知られるエッチャーです。装置は完全に自動化されており、再現可能な操作と品質を確保するために高度なプロセス制御を提供します。TEL INDYPLUSは、高度な制御機能と高いスループットを備え、さまざまなエッチング方法をサポートします。このシステムは、研究者がプロセス条件を直接変更して、さまざまな材料やデバイス構造のエッチングレシピを最適化できるように設計されています。TOKYO ELECTRON INDY PLUSは、優れた温度制御と高容量ホットチャックを備え、安定した動作温度を維持し、精度を最大化します。このユニットは、プログラム可能な解像度とエッチングプロセスの制御を備えたデジタルスマートタイマーを備えており、ユーザーの柔軟性と精度を向上させます。東京エレクトロンINDYPLUSは、6つのガス入口を備えており、幅広いエッチング用途でマルチガス化学およびプロセス条件を最適化することができます。TEL Indy Plusには、エッチング工程で使用されるガスの数を管理する専用のガス供給機が装備されています。このガス供給ツールは、Webブラウザインターフェイスを介してリモートで監視および調整できます。TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUSでは、プロセスの信頼性を最大化するために、圧力、温度、フローなどのキーエッチングパラメータのトレンドトレーシングもリアルタイムで提供しています。TEL INDY PLUSエッチャーは、さまざまな基板サイズとローディング構成との互換性を考慮して設計されています。TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUSは、大容量ロードロックと最大6つのロードスロットを備え、小型・大型のウェハランに対応しています。また、あらゆる研究環境において安全かつ効率的な運用を確保するために、さまざまな安全インターロック、アラーム、監視技術を備えています。ダウンタイムを最小限に抑え、成功した再現可能な処理アプリケーションの生産性を最適化するように設計されています。INDY PLUSは、一貫した再現性のある結果を提供する完全なプロセス制御を提供する信頼性の高い効率的なエッチングモデルです。十分に自動化され、非常に拡張可能、装置は研究開発の実験室の広い範囲の必要性を満たすように設計されています。高度なデジタルスマートタイマーと洗練されたガス配送システムを活用し、インディプラスはエッチングプロセスに最適な選択肢です。