中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293828776 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plusは、生産性の向上と廃棄物の削減を目的とした先進的なエッチャー/アッシャーです。このデバイスは、多種多様な半導体製造プロセスのニーズに適した大型エッチャー/アッシャーです。優れた耐熱性と均一性を備えた高精度エッチング/アッシング処理を特長としています。エッチャー/アッシャーは、ナノウエハから大型パネルウエハなどの高精度部品までの加工が可能です。独自の装置設計により、高性能なエッチング/アッシング処理を可能にし、迅速なサイクルタイムを実現します。TEL INDYPLUSは、PID （Proportional-Integral-Derivative）プロセスを通じて高度な温度制御を提供します。これにより、複数のバッチ間で一貫したエッチング/アッシングプロセスが保証されます。そのドライポンプは、最小限の真空汚染を保証し、ユーザーの安全を確保します。このデバイスはまた、N2、 O2、 CF4、 HCC、 NF3、 CHF3、 Ar、 C4F8、 O3などの複数のガスを使用できるガス雑多システムを備えています。これにより、エッチャー/アッシャーは、ユーザーのニーズに固有の多くの異なるエッチング/アッシュプロセスを処理できます。また、パワフルなPCベースの制御ユニットにより、高精度なプロセス制御を実現しています。これにより、ユーザーはカスタマイズされたレシピを作成し、ユーザープロファイルを管理し、エッチング/アッシングプロセスのさまざまな側面を制御することができます。また、エッチング/アッシングプロセスの性能に関するリアルタイムの情報と分析を提供します。これにより、オペレータは問題を迅速に診断し、プロセスのパフォーマンスを向上させるための是正措置を講じることができます。INDYPLUSには、ユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）が含まれています。GUIは、スケジューリング、監視、エッチング/アッシュ処理の設定など、さまざまな機能をユーザーに提供します。このソフトウェアは使いやすく、幅広いユーザー定義プロセスを節約できます。このデバイスは、プロセスパラメータを分析し、潜在的な問題を検出するためのさまざまな診断ツールも提供しています。結論として、INDY PLUSは生産性を高め、廃棄物を減らすための優れた機能を備えた高度なエッチャー/アッシャーです。その強力なPID制御プロセスにより、複数のバッチ間の一貫したエッチング/アッシングプロセスが保証されます。そのドライポンプは、真空汚染を低減し、そのガスの不適合ツールは、複数のガスを使用することができます。このデバイスには、ユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイスと、プロセスパラメータを分析するさまざまな診断ツールも含まれています。これらの特徴はすべて、東京エレクトロンINDYPLUSが半導体製造のエッチング/アッシングプロセスを成功させるための理想的な選択肢となっています。