中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293828775 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plusは、半導体ウェーハ製造プロセスで使用される高度なエッチャー/アッシャーです。TEL製のエッチング機器ファミリーの最新作です。300mmおよび200mmウェーハのエッチングおよびアッシングに関連する業務を処理することができます。その高度な機能は、重要な集積回路プロセスステップに信頼性の高いソリューションを提供します。この機械には高効率のセラミックRFチャンバーが装備されており、エッチングの選択性、精度、均一性が向上します。また、ロードロックとプロセスボックスを備えており、ウェハを環境にさらされることなく機器に積み込むことができ、材料の純度を確保します。また、プロセスガス搬送システムはウェットベンチに接続されており、効率的なガス搬送と温度調節が可能です。また、プロセスの欠陥を防ぐために、ウェーハ検査用の画像キャプチャ機能を備えた高解像度カメラを備えています。TEL INDYPLUSソリューションには、同社の動的オゾン除去ユニット（DORS）技術も組み込まれています。エッチング工程で発生する不要なオゾンガスをフィルタリングすることで、安全性だけでなく効率性も向上します。また、オートゲージおよびin-situ計測制御ツールは、プロセスサイクル時間を短縮するだけでなく、さまざまな集積回路テクノロジーノードにわたって製品品質を保証するのにも効果的です。このアセットはユーザーフレンドリーなインターフェイスによって制御され、機械のセットアップとメンテナンスが容易になります。また、オプションのオートメーション機器で構成することができ、生産ニーズをカスタマイズするためのより簡単で簡単な操作を提供します。このモデルは、プロセス最適化のためのトラブルシューティング活動のためのリアルタイムデータを提供し、直感的なメンテナンスモードを備えているため、予防的なメンテナンスルーチンを迅速に実装できます。TOKYO ELECTRON INDY PLUSは、半導体ファブに最適な高度なエッチャー/アッシャーです。その最先端の機能は、最高の材料純度と優れた機器ライフサイクル稼働時間で信頼性の高いプロセス結果を保証するように設計されています。このシステムはメンテナンスが容易で、費用対効果が高く、集積回路の生産プロセスをスムーズに実行できる多くの自動化機能が搭載されています。