中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293828774 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plusは、半導体業界の様々なエッチングやアッシングのニーズに対応できるように設計されたセミオートマチックな小型エッチャー/アッシャー装置です。エッチングは最大40サイクル/時間の自動エッチングとアッシング速度、アッシング周期は最大16分で、シリコンウェーハ、フラットパネルディスプレイ、アルミニウム金属化層、相互接続など、さまざまな基板をサポートします。システムの重量は約950kgで、全体の単位面積は約1200 × 1100mmです。オペレータは、WindowsとLinuxの両方をサポートするコンピュータを介してマシンにアクセスすることができます。オペレーティングツールはTELが開発した独自のソフトウェアです。TEL INDYPLUSは、オープンテーブルカセットローディングステーション、マシンテーブル、アッシングチャンバー、エッチングチャンバー、アセットコントロール、ガスパネルで構成されています。オープンテーブルカセットローディングステーションは、最大25基板を含むカセットの自動ローディングセンターとして機能します。カセットテーブルの右側にあるマシンテーブルには、モデルのすべての不可欠なコンポーネントが収納されています。これには、RF発電機、ガスパネル、ガスライン、ロードロック、真空ポンプが含まれます。エッチングチャンバーは、マシンテーブルの真下にあります。ボトムリフトカセット積載装置を自動化し、エッチング時に基板位置を正確に制御することができます。また、ロードロック機能を備えたデュアルRFサプライヤーがあり、処理時間をさらに向上させます。Ashingセクションには専用の石英チューブを備えたAshing Chamberがあります。このシステムは高速アッシングが可能で、処理時間を最小限に抑えることができます。また、基板が適切にASHされることを保証する効率的な裏面排気ユニットを備えています。また、圧力センサ、エミッションモニター、リーク検出システムなど、さまざまな安全機能を備えています。さらに、プローブ、ピンセット、手袋、ピン、クォーツボートなどの標準的なウェーハハンドリングツーリングやアクセサリーと互換性があります。東京エレクトロンは、TOKYO ELECTRON INDY PLUSツールが非常にユーザーフレンドリーで効率的であることを保証し、世界中の多くの半導体企業に人気のある選択肢となっています。