中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293828773 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plusは、優れた解像度と結果を得るために設計された半導体デバイス製造向けのエッチャー/アッシャーです。TEL INDYPLUSは、低濃度の塩素ガスをエッチング剤として使用する50ワットのプラズマ補助Siベースのエッチャー/アッシャーです。この装置には2つの独立したイオン源があり、正と負の両方のフォトレジストで優れたエッチングプロセスを提供するために最適化されています。エッチソースは、低周波ドリフトを排除し、より高いスループットを提供するように設計された急速な熱酸化源を使用しています。また、エッジラフネス、ノイズリダクション、基板均一性、全体寸法精度など、半導体デバイス製造における共通の課題に対応するために設計された幅広い機能を備えています。さらに、INDYPLUSは独立したフィードバック制御システムを使用して、正確なエッチング速度とパラメータを保証します。この機能により、正確なパターン制御が可能になり、追加の繰り返しまたはプロセス手順の必要性が減り、プロセスの再現性が大幅に向上します。このユニットには高度な算術曲線フィッティング機能が装備されているため、プロセス要件に応じてトレーサブルでシームレスなエッチングパターンを簡単に作成できます。INDY PLUSは、ハイエンドのPECVDプロセスを使用して、基板に付着して保護する薄膜層を作成します。このプロセスは、均一なステップカバレッジと優れた密着性を有する高品質のコーティング層を生成することができるプラズマ強化、低周波CVD （LFCVD）原子炉を利用しています。高度な光学機械と相まって、これは複雑な特徴と堅い許容のいろいろな装置構造の生産を可能にします。このエッチャー/アッシャーには、エッチングおよびアッシングプロセスの実験とカスタマイズを可能にする高度なツールセットも付属しています。さらに、複数のポンプを構成することで、シーケンシャルエッチングやリモートアッシングなど、幅広いエッチングおよびアッシング機能を可能にします。これらの機能は、優れたプロセス制御と再現性に加えて、Indy Plusは半導体デバイス製造に最適なエッチャー/アッシャーソリューションです。