中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293828769 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plusは、半導体産業で高度な基板加工に広く使用されているエッチャーおよびアッシャー装置です。ディープリアクティブイオンエッチング（DRIE）、ドライエッチング、プラズマエッチングなどのエッチング処理が可能です。また、基板表面の副生成物やその他の不要な材料の除去に使用されるアッシングも可能です。TEL INDYPLUSユニットは、高品質で信頼性の高いエッチングプロセスを確保しながら、時間とコストを削減するように設計された高度なプラズマエッチャーです。真空チャンバー、ガス制御工具、基板加熱ユニット、プラズマ発生器を組み合わせた一体型マシンです。本アセットは、東京エレクトロンINDY PLUSエッチャーとIndy Asherの2つのパーツで構成され、直径200mmまでの基板加工が可能です。TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUSエッチャーは、高精度の静電容量結合RF励起源を備えています。これにより、安定した均一なプラズマの効率的な生成が可能になり、信頼性と再現性の高いプロセス結果が得られます。また、高度なデジタル制御プロセッサを搭載し、エッチング深さ、形状、プロファイルなどのエッチング処理を正確かつプログラム可能に制御できます。Indy Asherは、基板から有機、金属、無機材料を除去するために設計された、高速で信頼性の高いアッシング処理を利用しています。アッシャーは、従来のアッシング技術に優れた精度と再現性で、表面をすばやく洗浄できます。プラズマチャンバーに均一な温度分布を提供し、均一なエッチング速度を実現します。TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUSは、プロセス効率を高め、エッチングとアッシングの結果を向上させる機能を多数搭載しています。圧力、ガスの流れ、温度、RF電力を厳密に制御できるため、ユーザーは正確に処理パラメータを最適化し、設定条件を簡単に繰り返すことができます。また、エッチングおよびアッシング工程で使用されるガスを効率的に供給するためのガス管理ユニットと、プロセスのリアルタイム監視用の統合された遠隔監視ディスプレイを備えています。TEL INDY PLUSマシンは、高精度で再現性のある基板加工をお客様に提供するために設計された、高度で信頼性の高いエッチングおよびアッシングツールです。幅広い半導体産業での使用に最適で、ユーザーはほんの数分の1の時間でプロセス結果を向上させることができます。