中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293828768 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRIN TEL/TOKYO ELECTRON INDY Plusは、幅広い基板エッチング用途向けに開発された自動アッシャー/エッチングマシンです。半導体ウェーハ、MEMS （Microelectromechanical Systems）、その他の薄い基板など、さまざまな材料を処理できます。精密なエッチング速度を可能にし、均一な結果を処理する細心の注意を払って設計されたプロセスチャンバーを備えています。その革新的な温度制御装置は、優れた基板の均一性を保証し、ユニークで特殊な構成と操作の数を可能にします。TOKYO ELECTRON/TOKYO ELECTRIN TEL INDYPLUSは、精密なマイクロモーションテーブルを搭載しており、手作業での動作を必要とせず、精密なエッチングが可能です。この機能により、プロセス公差を容易に満たし、望ましい結果を提供できます。このテーブルには、プロセスチャンバーからの汚染物質の流量を削減する特許取得済みのグローブボックスシステムも使用しています。TOKYO ELECTRON INDY PLUSには、オンボードガスミキシングコントローラも搭載。これにより、ユーザーは乾燥した不活性ガスまたは腐食性ガスを正確に混合して、エッチング操作に必要な雰囲気を作り出すことができます。ユニットからの圧縮ガスは、さらなるイメージングと分析のために分析セルに送られます。ユーザーは、ウィンドウベースのグラフィックユーザーインターフェイスによってプロセス全体を制御し、リモート接続でホストコンピュータに連絡することができます。TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUSは汎用性に優れ、プラズマや反応イオンエッチング、低温処理、スパッタ蒸着など様々な処理が可能です。スキャン制御、データロギング、プログラマブルレシピなどの高度な機能も提供しています。それに重傷および特性の損傷をもたらすことができる危険な操作条件を防ぐ作り付けの安全連結があります。TOKYO ELECTRON INDYPLUSは他の部品と統合して完全な生産機械を作成することができます。ウェットベンチ、レジストストリッパー、追加の工具周辺機器で使用できます。また、特定の材料や要件に簡単に校正することができます。TEL/TOKYO ELECTRON TEL/TOKYO ELECTRON TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUSは、多様な高度な機能を備えた精密基板エッチングアプライアンスを求めるお客様に、独自のソリューションを提供します。その最先端の技術は、優れた結果と品質管理を保証し、その汎用性は、さまざまな操作やアプリケーションに適しています。