中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293828767 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plusは、高精度材料の除去と誘電体膜沈着用に設計された高度なエッチャー/アッシャー装置です。半導体デバイスの基本エッチング/ドーピング/成膜から、高度なパッケージデザインにおける銅線パターンのハイエンドプラズマエッチングまで、幅広い用途に対応します。TEL INDYPLUSユニットは、高い速度と精度の両方を提供し、非常に反復可能な結果を可能にします。TOKYO ELECTRON INDY PLUSの中核となるのは、データ収集・制御ツールを構成するハードウェアコンポーネントを搭載したタッチパネルPCです。このタッチスクリーンPCには、ユーザーが手元のアプリケーションのための正確なパラメータを迅速かつ簡単に設定できる高度なプロセス制御ソフトウェアが装備されています。PCには、エキスパートレベルのユーザー向けの自動トレーニングモード、リアルタイムモニタリングなど、多くの安全機能も含まれています。INDYPLUSアセットは、手元のプロセスに応じて、さまざまなツールで構成することができます。エッチャーはトグルエッチャーとサイドエッチャーの2種類が用意されています。これらのエッチングシステムは両方とも多くのプログラム可能な軌道と垂直方向の動きを提供し、エッチング速度、選択性、均一性を正確に制御することができます。TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUSモデルは、高度なガスフローコントローラを搭載し、すべてのエッチングガスの高速かつ正確なフロー制御を可能にします。さらに、プラズマチャンバーには、高精度のエッチプロファイルを提供するために、ガス組成、濃度、圧力、流量を制御する高度なRF駆動機能セットが装備されています。スループットを向上させるために、ウェーハへの自動ローディングとアンロードが含まれ、ウェーハ間の処理時間は10秒未満です。フィルム蒸着用途には、Indy Plusシステムは、ろ過された真空アーク、スパッタカソード、蒸着源など、さまざまな蒸着源を提供します。これらのソースには調整可能な出力が付属しており、金属から高分子および有機材料まで、さまざまな材料に適しています。さらに、オンボードソースモニタリングユニットは、蒸着プロセスの完全な制御とフィードバックを可能にします。高性能ハードウェア、フレキシブルなソフトウェア、さまざまな強力なツールを組み合わせた東京エレクトロンプラスは、幅広いエッチングおよび成膜アプリケーションに最適なソリューションです。エキスパートユーザーであっても、基本的なエッチング/ドーピング/蒸着機能を必要とするユーザーであっても、TOKYO ELECTRON INDYPLUSマシンは、複雑なプロセス開発と最適化を可能にしながら、迅速で再現可能な結果を提供します。