中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293828765 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plusは、半導体製造に使用される高度なエッチャー/アッシャーです。半導体製造において、正確で反復可能で信頼性の高いエッチングとアッシングのステップを提供するように設計された高度なツールです。これは、強力なプラズマ源、ロボットアームの動き、およびサンプルの簡単なロードとアンロードのためのロードロックチャンバーで構築されています。このプラズマ源は、酸化物、窒化物、ポリシリコンのエッチングが可能な均一なプラズマを生成するように設計されています。そのロボティクスアームは、サンプル配置精度を維持するために、フィードバックループを備えた正確なサンプル操作が可能です。TEL INDYPLUSのロードロックチャンバーは、ウェーハの積載に効率的かつ費用対効果の高いソリューションを提供します。交換可能な2つのウェハ冷却ステージと、特殊なエッチング/アッシング要件に複数のガスを供給できる内部ガス混合ユニットを備えています。さらに、FET （Fast Response Gas Field Effect Transistor）モニタリングシステムを搭載し、ガス濃度を継続的にモニタリングし、プロセス制御を最適化します。TEL INDY PLUSは、エッチング/アッシングの段階を制御し実行するために開発された完全に実現されたレシピでサポートされています。また、将来のプロセス分析のためにすべてのデータを監視、保存、アーカイブできるデータ管理システムも備えています。さらに、Indy Plusは、プロセス制御をさらに強化するための幅広い専門ツールをサポートしています。このツールには、ロケットガス投与ユニット、蒸着速度制御用の統合ダウンストリームセンサー、およびRFプラズマ発生器が含まれます。INDYPLUSは、最小限の入力で最大の出力と歩留まりを提供するように設計されているため、半導体製造において非常に貴重なツールです。堅牢な設計と効率的な操作により、お客様は小さなフットプリントと高い歩留まりを備えた高品質のICを迅速に生産することができます。さらに、ユーザーフレンドリーなインターフェイスと包括的な汎用性により、小型から大型まであらゆるサイズのファブに適しています。TEL Indy Plusは、半導体製造用途に精密なエッチングおよびアッシングソリューションを提供できる技術的に高度なエッチャー/アッシャーです。堅牢な設計、効率的なロード、包括的なプロセス制御およびデータ管理を備えた業界で非常に貴重なツールです。