中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293828764 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plusは、シングルウェーハとバッチエッチングの両方において、精密なリソグラフィーとエッチング技術を可能にする最先端のエッチャー/アッシャーです。TEL INDYPLUSは、厚さ32nmまでのあらゆる素材の高解像度エッチングが可能です。それに特徴の広い範囲があり、異なったプロセス必要性に適するためにカスタマイズ可能です。それは基盤圧力、圧力バランス、硬度、速度、力および温度のような異なったプロセスパラメータのために形成することができます。TOKYO ELECTRON INDY PLUSには、プロセス全体を正確に制御できるように設計されたコンピュータ制御装置があります。組み込みソフトウェアを使用することで、材料の厚さ、プロセス速度、ガス圧力など、さまざまなパラメータを調整することができます。この精度は、ユーザーに厳しい再現性と改善されたプロセス制御を提供します。追加機能として、スパッタリング、レジストストリップ、酸化物蒸着などのリソグラフィも可能です。Indy Plusは、単一のウェーハまたはバッチモードで動作するように設計されています。シングルウェーハモードでは、1つのウェーハを一度に均一にエッチングすることができます。これにより、高速かつ効率的なエッチング処理が可能になります。バッチモードでは、マシンは一度に複数のウェーハをエッチングすることができます。この機能により、スループットが向上し、リソグラフィープロセスの柔軟性が向上します。INDYPLUSには、オプションの追加ガスボックス、バルブ、センサーなどの複数のオプションが付属しています。これらのエキストラは、プロセスのパフォーマンスをさらに制御するために使用でき、ユーザーは目的の結果を微調整することができます。このツールには、酸化物エッチングから乾燥およびウェットエッチングまで、さまざまなエッチング技術に適したレシピの包括的なライブラリもあります。TEL INDY PLUSは汎用性が高くユーザーフレンドリーに設計されており、あらゆる業界のユーザーに人気があります。INDY PLUSは、精度と精度からカスタマイズ機能まで、あらゆるエッチングやリソグラフィのニーズに最適なソリューションです。TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUSでは、エッチングやリソグラフィープロセスを最大限に活用できます。