中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293828763 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plusは、マイクロエレクトロニクス、フォトマスクなどの薄膜加工プロセス向けに設計された高精度エッチャー/アッシャーです。リアクティブイオンエッチング（RIE）技術を使用した精密エッチング機能を、幅広い形状や材料にわたって提供することができます。TEL INDYPLUSは、温度と真空制御を一体化した完全密閉型のチャンバーを備えており、エッチングしにくい材料でも、再現性と信頼性の高いエッチングを可能にします。このシステムは、エッチャー/アッシャー操作のすべての側面を制御するためのインタラクティブな8インチカラータッチスクリーンを備えています。TOKYO ELECTRON INDY PLUSには、エッチング処理を監視する高解像度の光学ビューポートもあります。TOKYO ELECTRON Indy Plusは、さまざまなプロセスや形状に対応できます。ミクロンレベルの位置決めが可能な高品質のフロートステージと3軸システムを備えています。Indy Plusには、エッチングパラメータとエッチングされるマテリアルがマッチするオートマッチ機能もあります。エッチング材の品質を最大限に高め、廃棄物を最小限に抑えます。さらに、そのモダンなデザインは、困難なコーナーや曲面に簡単にアクセスすることができます。TEL Indy Plusは、エッチング工程で発生する有害ガスや熱から人員や材料を最大限に保護する優れた安全機能を提供します。INDY PLUSはまた、高度なネットワーキングと通信機能を提供し、プロセスのリモート制御と既存の生産ネットワークとの統合を可能にします。TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUSでは、フォトマスク、ポリイミド、SiN/SiO2、金属など、さまざまな素材のエッチングや洗浄プロセスをご用意しています。このプロセスは、マイクロエレクトロニックおよびMEMSアプリケーション向けに特別に設計されており、最大200mmまでの幅広いウェハサイズを処理できます。TEL INDY PLUSは、高精度、高品質、再現性のある生産結果のための理想的なエッチングとアッシャーです。