中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293828762 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plusは、半導体加工用エッチャー/アッシャーです。高度なマルチゾーンプロセスチャンバーを使用して、半導体デバイスの大量製造において非常に正確で高品質な結果を提供します。TEL INDYPLUSは、エッチングプロセスの最新規格を満たすように設計されており、さまざまな半導体デバイスのタイプに自動化された効率的で正確なソリューションを提供します。TOKYO ELECTRON INDY PLUSには、マルチゾーン設備を備えたプロセスチャンバーが装備されており、各プロセスごとに条件を指定することができます。これにより、プロセスのすべてのステップをより正確に制御することができます。このチャンバーには、ウェーハ表面を周囲の粒子や他の破片で汚染するリスクを低減する自動ロードロックチャンバーも含まれています。INDY PLUSはTOP （Total PROcess Control）技術を特長とし、優れた精度と再現性を提供するオートメーション機能とプロセス制御のスイートです。これは、結果が一貫して正確で信頼性の高いものであることを保証するのに役立ちます。また、エッチングプロセスパラメータをリアルタイムで監視およびテストし、最良の結果を得ることができます。安全のために、Indy Plusは2つの独立した窒素によって冷却される静電気室と設計されています；これは操作の間に偶然の排出を防ぎ、汚染からの付加的な保護を提供します。そのソフトウェアは、高速かつ効率的な操作のために設計されており、使いやすいユーザーインターフェイスを提供し、プログラミング言語の広い範囲をサポートしています。TOKYO ELECTRON Indy Plusは、お客様が最高のエッチング結果を得るために、さまざまな主要なツールやコンポーネントと互換性があります。これには、FMATHやPARFRACなどの業界標準のプロセス機器だけでなく、N2ガス、HaTEM薄型およびレジストリムーバー、リソグラフィーモデル、および利用可能なレシピオプションなどのさまざまな材料が含まれます。全体として、TEL Indy Plusは半導体加工アプリケーション向けに特別に設計された高度なエッチャーアッシャーです。それは一貫した、精密なエッチングの結果の信頼できる、費用効果が大きいエッチングの解決を提供します。高度なプロセスチャンバーと自動化されたプロセスにより、ユーザーは大量の半導体デバイス生産において最高レベルのエッチング結果品質を達成することができます。