中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293828761 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plusは、さまざまな半導体アプリケーションやプロセス向けに設計されたエッチャー/アッシャーです。これは、正確で高スループットの異機種混在エッチング/アッシュプロセスを提供する、小型フットプリントのシングルウェーハエッチング/アッシュ装置です。エッチャー/アッシャーには150mmの小さなチャンバーがあり、最大100個のウェーハを収容でき、さまざまな材料のエッチング/アッシング処理が可能です。TEL INDYPLUSエッチャー/アッシャーは、ウェーハ全体にわたってウェーハエッチングまたはアッシングの均一性を正確に再現する高度なシステム設計を備えています。TOKYO ELECTRON INDY PLUSエッチャー/アッシャーは、電子プラズマ源を有する電子サイクロトロン共鳴（ECR）プラズマを利用して、非常に均一なプラズマエッチングまたはアッシングを提供します。プラズマ源のオプションをECRからICP （Inductively Coupled Plasma）に変更することができます。さらに、特定の要件に合わせてプロセスをさらにカスタマイズするために、高度なピエゾアクチュエータとウェーハスピンのオプションを含めることができます。エッチャーには高品質のミネラルビルドアップ保護ユニットが装備されており、高度なウェーハスピン制御により、非常に均一なエッチング/アッシングに不可欠な非常に均一なイオン爆撃を保証します。TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUSエッチャー/アッシャーは、プロセス時間に依存しない圧力、温度、RF電力調整など、さまざまな監視および制御機能を備えています。これにより、酸化物エッチング、ナノテキスチャリング、選択的エッチングまたはアッシングなど、幅広いプロセスを実行できます。また、プロセスアクティビティの監視を容易にするために、エッチング/アッシュプロファイルをリアルタイムで表示します。INDY PLUSエッチャー/アッシャーは高度にカスタマイズ可能で、特定のプロセス要件を満たすように構成することができます。エッチャー/アッシャーは、プロセスの均一性と再現性を最大限に高めるように設計されており、中規模から大規模プロセスの生産作業に適しています。このツールはまた、さまざまな材料と互換性があるため、複数のプロセスアプリケーションに最適です。