中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293821712 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plusは、半導体産業のエッチャー/アッシャーであり、半導体デバイスに高度なエッチング/アッシング技術を提供します。TEL INDYPLUSは、高効率かつ高精度に設計されており、サブ0。5 nmエッチング解像度と5nm以上の精度を提供します。6インチまたは8インチの単一のウエハサイズを持ち、最大450nmのフィルムとステップを処理できます。TOKYO ELECTRON INDY PLUSには、モーター式のIndependent ForwardとBackward Transverse Stagesが搭載されており、高いアライメント精度と再現性を実現しています。TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUSは、TELが開発した先進エッチング技術であるVolatile Organic Compound-assisted Etching （VOC-ET）という独自のエッチング技術を採用しています。VOC-ET技術は、垂直側壁と優れたエッチプロファイルを備えたファイングレインシリコンおよびFinFETデバイスを処理することができます。また、TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUSでは、従来のデバイスから簡単にレシピを呼び出すことができるエキスパートメモリ互換性を採用しています。TEL INDY PLUSでは、TOKYO ELECTRON独自のソフトウェアを使用してエッチングやアッシングのレシピをカスタマイズすることも可能です。TEL Indy Plusには、エッチングとアッシングの両方を同時かつ独立して容易にする複数のプロセスチャンバーが装備されています。プロセスチャンバーには、エッチング性能を最大化しながらプロセス排出を最小限に抑えるように設計されたフッ素を含まないガス混合物配送装置が装備されています。TOKYO ELECTRON Indy Plusは、メディアデリバリーシステムと水冷式の排気ユニットを備え、メンテナンスが容易で費用対効果の高い運用を実現するよう設計されています。INDYPLUSにはリモートアクセス機能も搭載されており、ユーザーは中央の場所からプロセス設定を監視および調整できます。Indy Plusは、半導体業界の特定のニーズを満たしながら、一貫した高品質のエッチングおよびアッシングプロセスを提供するように設計されています。このマシンは、デバイスおよび信頼性テストに関連する時間とコストを削減するだけでなく、高度なデバイスノードのプロセス機能を強化するのに役立ちます。TOKYO ELECTRON INDYPLUSは、複数の基板とウエハサイズを処理することができ、生産性と稼働時間の最高水準を満たすように設計されています。