中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293758842 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plusは、要素密度の高い高度な集積回路を製造するために使用される高度なエッチャー/アッシャー装置です。このシステムは、ウェーハ表面に金属膜を蒸発させるためにプラズマを使用する真空蒸着スパッタリングユニットに基づいています。この機械は、現在の技術の10倍の解像度で高精度で超密度の回路を作成するのに特に適しています。TEL INDYPLUSは、TEL独自のDirect Ion Sputtering Module （DISM）をはじめ、高精度で高アスペクト比のスパッタリングを実現する最先端の技術を多数採用しています。さらに、このツールには、さまざまなエッチングプロセスをサポートするための多数の高度なテクノロジーモジュールと独自のソフトウェアパッケージが装備されています。これにはPre-Cleanモジュールが含まれており、連続した堆積またはエッチングの前にウェーハ表面を洗浄することができます。Nano-Lithプロセス制御モジュールは、エッチング処理をリアルタイムで制御します。TOKYO ELECTRON INDY PLUSは、多彩な組み合わせや構成を可能にするマルチモジュールアセットを採用しています。これは、完全自動化装置のための統合されたフレキシブルオートメーションモデル（FAS）と組み合わされています。さらに生産の多様性を高めるために、ライン幅0。1マイクロメートル（1/10,000ミリメートル）のデバイスを生産できるため、4Gや5Gモバイル技術などの高精度・超低kVアプリケーションに適しています。また、コンタミネーションリスクを低減する環境制御ユニットの改良や、故障リスクを最小限に抑える低kV設計など、数多くの安全機能を搭載しています。さらに、すべての層で優れた均一性を実現しながら、一貫した高品質の最終製品を提供し、肉眼では検出できない金属ラインを印刷することができます。TEL Indy Plusは、高度で信頼性の高い多機能エッチャー/アスパーツールであり、多種多様な集積回路の製造に使用するために不可欠な製造ツールです。優れたエッチング精度、堅牢な安全機能、先進技術を備えたINDYPLUSは、集積回路製造のための包括的でユーザーフレンドリーなソリューションを提供します。