中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293754740 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus
ID: 293754740
ウェーハサイズ: 12"
Furnace, 12" Process: TEOS Atomic Layer Deposition (ALD) Poly Nitride 2009-2018 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plusは、高精度・高精度のエッチング・アッシングプラットフォームです。公差0。3〜2ミクロンの複雑な幾何学を作成するのに役立ちます。航空宇宙、医療、半導体産業に最適です。TEL INDYPLUSは、2つのプロセスを統合し、高速な結果を最高品質で実現するエッチング/アッシングマシンです。1つのプロセスでエッチングとアッシングを組み合わせ、最大2段階の構造をパターン化することができます。TOKYO ELECTRON INDY PLUSの高い精度とスピードは、E-GunとE-Podの2つの主要コンポーネントに加わることができます。E-Gunは、基板上のエッチングおよびアッシングパターンに電気アークを生成するために高電圧を使用します。一方、Electric Podはプロセスをスピードアップし、エッチングと灰の時間を大幅に短縮するのに役立ちます。また、エッチング/アッシュされたパターンの不均一性を低減するのにも役立ちます。INDY PLUSは、高性能CCD(充電結合装置)カメラとレーザー検出技術を搭載した高精度材料制御も特徴です。これにより、カメラが不均一、反り、応力変化などの微妙な変化を検出できるため、高い精度と精度が保証されます。これらの機能を組み合わせることで、TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUSは市場で最も正確で正確なエッチングとアッシングマシンの1つになります。INDYPLUSは、シリコンエッチング、エッチングメタル、リバースエッチング、エンボスエッチングなど、さまざまな用途に必要な仕様に合わせて調整できるため、非常に柔軟な機械です。さらに、Indy Plusは、Si、 Ge、石英、Al、 SiCなどのさまざまな基板をサポートし、さらなる柔軟性を確保しています。高い精度、優れたプロセス制御、柔軟性により、TEL Indy Plusは航空宇宙、医療、半導体業界のユーザーに最適です。TOKYO ELECTRON INDYPLUSは、エッチングとアッシングのプロセスを統合し、スループットを向上させます。手頃な価格と高い精度が魅力です。
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