中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293670484 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plusは、半導体ウェハの高精度、高スループット処理を実現するエッチャー/アッシャーです。装置は産業等級、最高の剛性率および振動減衰のための頑丈なフレームとです。温度制御技術、クローズドループ制御システム、変調温度制御を備えています。ロボットアームも備えており、ウェーハやワークの自動積み降ろしが可能です。エッチャー/アッシャーは、オペレーションを管理し、生産のダウンタイムを最小限に抑えるための包括的な制御ユニットを提供する高度なPLCソフトウェアで動作します。ウェーハ表面の± 0。1〜0。7um（マイクロメートル）の範囲でプロセスの再現性と精度を提供することができます。TEL INDYPLUSの高度な蒸気エッチング技術は、ストレージの不安定性を最小限に抑え、クリーンサーフェスを作成する機能を備えています。このユニットは、さまざまなガスを処理し、可変エッチング率を提供し、微細構造の高精度エッチングを提供することができます。TOKYO ELECTRON INDY PLUSはEPAに準拠し、最先端の排出削減技術を備えています。これらには、低流量およびリサイクルシステム、プラズマ変換および精製システム、およびデュアルリークディテクタが含まれます。汚染物質を捕獲して保管することができ、地域環境への侵入を防ぐことができます。このマシンには、危険物に関連するリスクを最小限に抑えるように設計された多数の安全機能が含まれています。東京エレクトロンプラスには、バックアップツール、緊急停止ボタン、換気不要アセット、自動監視機能があります。ユニットは、問題を迅速に検出するために、そのパフォーマンスレベルを継続的に監視します。最後に、TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUSは使いやすく、メンテナンスも簡単です。タッチスクリーンのヒューマンマシンインターフェイスで利用可能で、ユーザーは最小限の労力と時間でモデルをセットアップして制御することができます。すべてのコンポーネントは、迅速なメンテナンスと維持のために簡単にアクセスできます。