中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293670483 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plusエッチャーは、エッチング、異方性エッチング、表面洗浄用途向けに設計された最先端の半導体加工ツールです。この装置は、酸化物エッチング、s層エッチング、銅エッチング、およびその他の高度なエッチングおよびクリーニング操作などの半導体プロセスにおいて最大限の精度と信頼性を提供します。そのユニークな設計哲学は、最先端の機能と技術を完全な単一のパッケージに組み込み、プロセス全体を簡素化し、所有コストを削減しながら、効率とコストを削減します。TEL INDYPLUSはコンパクトなパッケージで、既存のクリーンルーム環境に簡単に統合できるように設計されています。このシステムには、自動制御、信頼性の高い監視、および柔軟な構成オプションが含まれます。このユニットは、動的圧力制御、高速回転、拡張RFパワーレンジ調整、ソフトウェアアップグレード互換性、およびより高い精度と再現性のための簡単なレシピコントロールも備えています。最先端のエッチャーには効率的なガス供給機が装備されており、SF6、 CHF3、 CF4、 C4F8、 O2、 Arなどの幅広い反応ガスを提供しています。デジタル制御された静電チャックを使用して、ウェーハを正確な角度で保持し、さまざまなエッチングおよび表面洗浄アプリケーションにわたって均一な処理パラメータを提供します。このツールの内部RFジェネレータは、最大600Wの電力範囲を提供し、プロセスの結果を最適化するために簡単に調整できます。強力な高電圧ジェネレータを追加するオプションは、最大の効率のためにエッチレシピをカスタマイズするのに役立ちます。また、イオンサプレッサ、精密温度制御、ターゲット圧力制御、3Dレーザー干渉計など、精度と再現性を高める高度な機能も搭載しています。この機能は、ウェーハの無駄を削減し、より信頼性の高い最終製品の品質を確保するのに役立ちます。内蔵のクリーナーは、処理サイクル間のウェーハの洗浄を支援し、ウェーハの整合性を維持するのに役立ちます。TOKYO ELECTRON Indy Plus Etcherは、半導体エッチングおよび表面洗浄アプリケーション向けの信頼性と費用対効果の高いソリューションです。オーナーシップの低コストを維持しながら、最高の処理要件を満たすことができるオールインワンソリューションを提供します。このアセットは、既存のクリーンルーム・オートメーション・システムと容易に統合でき、大容量でコストに敏感な製造プロセスに最適です。