中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293670482 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plusは、ウエハ/基板にエッチングする機能の正確なパターンを可能にするエッチャーまたはアッシャーです。半導体、太陽電池、関連ウェハ加工などのマイクロエレクトロニクス機器の製造に必要な機器です。電子ビームレジストパターニングプロセスを採用し、基板を正確にエッチングし、あらゆる設計の優れた品質のパターンを生成することができます。TEL INDYPLUSは電子ビームソースを利用して、電子ウェーハをリジスティブエッチングします。この装置は、歪みと収差を最小限に抑えた高精度パターニングを実現するために慎重に設計されています。これを実現するために、電子ビーム源は、所望のエネルギーの均一で安定したビームを生成するように設計されています。精密に焦点を当てた電子ビームは、正確にパターン化されたレジストフィルムをウェーハにエッチングするために使用されます。TOKYO ELECTRON INDY PLUSは、基板上にパターンを作成するための高度なプラズマエッチング処理を備えています。このプロセスは、ユニークなプラズマベースのガスのセットによって可能になったバランスのとれた化学に基づいています。これらのガスは、エッチング結果が常に最適であることを保証するために正確に混合されています。このプロセスは、十分に制御された温度条件によってさらに補完され、エッチング処理の効率が最大限に向上します。INDYPLUSは、汎用性とユーザーフレンドリーなインターフェイスを念頭に設計されています。直感的で使いやすいタッチスクリーンインターフェイスを備えているため、多数のエッチングサイクルを迅速かつ正確に実行できます。このインターフェイスは、プロセスパラメータの監視から視覚的なフィードバックまで、エッチングプロセスに関する豊富なフィードバックも提供します。これにより、ユーザーは各エッチングサイクルの進行状況を簡単に監視できます。全体として、TEL INDY PLUSは、マイクロエレクトロニクスデバイスやウェーハ加工に最適なエッチング/アシャイニングソリューションです。この高精度エッチング装置は、あらゆる設計上の正確なパターンを作成することができ、直感的なタッチスクリーンインターフェイスと最適なエッチング結果のためのバランスの取れた化学によって補完されます。