中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293670481 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plusは、高度な半導体製造アプリケーション向けに設計されたエッチャー/アッシャー装置です。TEL INDYPLUSには、特殊なソフトウェア、コンポーネント、機能が搭載されており、基板にフィーチャーをエッチングしてアッシングする際の精度を極めています。エッチングの最初のステップは、基板の調製です。TOKYO ELECTRON INDY PLUSは、エッチング前にチップの正しい位置を配置して調整できるカスタマイズ可能な基板ホルダーを搭載します。これにより、最小限の残留毒性粉末で最適な結果が保証されます。基板が配置されると、エッチングは伝統的な粘性石英またはInductively Coupled Plasma （ICP）プロセスを使用して最初にトリガーされます。石英エッチング工程では、ガス圧力、流量、周波数などのプラズマ構成パラメータを調整し、エッチング速度を最大化します。ICPプロセスでは、波の圧力、周波数、形状が調整され、最高のエッチング率が誘導されます。TOKYO ELECTRON INDYPLUSには、エッチング条件を最適化する複数の高温ガスインジェクタが搭載されています。エッチングおよびアッシングプロセスの高度な温度制御により、完全にカスタマイズされた結果が得られます。廃棄物を防ぐために、トラップシステムはエッチング処理中に排気を分離して処理し、環境への影響を最小限に抑えます。INDYPLUSの内蔵センサーは、エッチング速度、エッチング温度、基板特性を正確に監視することで、エッチングを完全に制御できます。リアルタイムデータロギングは、すべての変数で利用可能であり、後でレビューするためにダウンロードすることができます。エッチングプロセスが完了したら、基板は乾燥または濡れたアッシングプロセスで洗浄されます。このプロセスはエッチングの品質を決定し、不要な残留物を除去します。TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUSは、高度な残留物検出機能を内蔵しており、必要に応じて基板の除去またはさらなるアッシングを可能にします。TOKYO ELECTRON Indy Plusエッチャー/アッシャーユニットは、高度な半導体デバイスの製造とエッチングのための革新的なツールです。高度なコンポーネントとカスタマイズ可能なオプションを備えたINDY PLUSは、高度な製造プロセスに最適なエッチャー/アッシャーマシンです。