中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293670480 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plusは、半導体・MEMSデバイス製造に使用されるエッチャー/アッシャーです。TEL INDYPLUSは、厳格なプロセス制御の下でさまざまな材料をエッチングするように設計された先進的なツールで、高スループットのデバイス製造を可能にします。東京エレクトロンインディプラスは、高度なエッチング技術とフィジカルエッチング技術を融合させ、高い精度の結果を両社に提供します。TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUSは、様々な素材で使用できる多彩な機能を備えています。ウェットエッチングとドライエッチングの両方をサポートし、金属、ポリマー、シリコン、酸化アルミニウム、誘電体などのさまざまな材料をエッチングできます。これにより、古典的な半導体アプリケーションとMEMS製造の両方に最適です。TEL Indy Plusは、精密なエッチング結果を保証するために、幅広いコントロールとインストゥルメントを備えています。プラズマチャンバーの温度と電力を正確に制御し、安定した作業環境を維持することができます。さらに、そのチャンバー圧力は、異なる基板の要件を満たすために簡単に調整することができます。このツールは、最高精度を可能にする高負荷容量の4軸ウェーハハンドリングシステムを備えています。これには、MEMS構造などの複雑なパターンを正確にエッチングするために使用できる2次元スキャンパターン機能が含まれています。さらに、ウェーハ表面全体を均一にエッチングするための2つの電子洪水銃を備えています。ファブのスペース要件を最小限に抑えたコンパクトなデザインで、耐久性に優れた構造を採用しています。また、ベースプレッシャーが低く、汚染の危険を冒さず素材を素早く正確にエッチングすることができます。汚染のリスクが低いことに加えて、Indy Plusは使いやすいグラフィカルインターフェイスを誇っています。これにより、より効率的な操作が可能になり、インターフェイスはリアルタイムのデータと設定の監視を可能にします。さらに、TEL INDY PLUSは、プロセスライン内の他の機器と統合することができ、自動エッチングが可能です。TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUSは、幅広い半導体およびMEMS製造アプリケーションに最適なエッチャー/アッシャーです。東京エレクトロンINDYPLUSは、多彩な機能と精密な制御により、最高の精度でハイスループットデバイスの製造を可能にします。