中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293670479 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plusは、あらゆる加工プロジェクトに精度とスピードをもたらすエッチャー/アッシャーです。高精度で高精度なエッチングプロセスを実現し、高いスループットを実現します。TEL INDYPLUSは、低消費電力で選択性の良い高速エッチングを可能にするハイブリッド電気化学（無電解成膜）技術を採用しています。このエッチャー/アッシャーは、金属、絶縁膜、プリント基板など、さまざまな材料の精密エッチング用に特別に設計されています。東京エレクトロンインディープラスは、微細成形技術により、高アスペクト比の特徴サイズを0。2 μ mまで制御することができます。この汎用性の高いデバイスは、プロセスの信頼性と再現性を向上させるのに役立ちます。Indy Plusは、エッチングプロセスのセットアップとプログラミングを簡単にするユーザーフレンドリーなインターフェイスも提供しています。機械のプロセスオプションには、時間および電流制御プログラム、ADL（自動蒸着限界）制御プログラム、およびその他の高度な制御機能が含まれます。TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUSは、任意の角度、クロススリット、ステップドエッチングを含む最大16 µmのエッチング層もサポートします。INDYPLUSには、180nmから65nmのテクノロジーノードへの互換性をサポートする半導体フロントエンドモジュールが装備されています。フロントエンドモジュールは、アルカリエッチング、プリパターンプラズマエッチング、およびエッチング後の洗浄プロセスに使用されます。この機能により、DC電圧エッチングおよびパルスRF/DCエッチング処理を最適化できます。TEL Indy Plusは、チャンバーを清潔に保ち、圧力を制御するチャンバーアウトレットシステムを備えています。このシステムは、安定した動作温度と圧力を維持するのに役立ち、エッチング工程の欠陥につながる要因を回避するのに役立ちます。TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUSには、ウェーハエッチングの均一性を最適化し、一貫した結果を得るための先進的な真空システムもあります。自動化されたウェハステージの傾きと回転ツールを使用して、エッチング収率を向上させることもできます。このエッチャー/アッシャーは、優れた均一性、安定性、およびフィルム特性を備えているため、さまざまなエッチングプロセスにおいて信頼性の高い選択肢となります。東京電子INDYPLUSは取付け、作動すること容易です；それは費用効果が大きい解決で、生産ラインかR&Dの実験室のために適しています。