中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293663052 を販売中
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TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plusは、精密金属エッチングやクリーニングに最適な高性能、低メンテナンスエッチャー/アッシャーです。コンパクトな設計で、設置面積が小さく、処理時間が効率的で、多くの高度な機能を備えています。TEL INDYPLUSは、12インチ(300mm)のロードロック型ティアドロップ型チャンバーを採用し、ほとんどのラボや製造現場に容易にフィットします。また、TEL独自の線形共鳴磁界(LRMF)技術も搭載しており、より均一で精密なエッチングを提供します。TOKYO ELECTRON INDY PLUSの高性能設計により、より高い精度でより高速な処理時間を実現し、大規模生産に最適です。INDY PLUSはまた、低温互換性、均質なエッチングを保証する回転可能なソースブレードホルダー、高度なガス供給システムなど、さまざまな高度な機能を提供しています。ユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)により、セットアップとプロセスの監視がシンプルかつ直感的になります。さらに、Indy Plusには多波長の光エンドポイント検出機能が搭載されており、幅広い厚さと厚さの変動を検出することができます。最後に、東京エレクトロンINDYPLUSは「東京エレクトロン」で設計されており、左の「チャンバークリーニング方法」として、迅速かつ簡単なクリーニングを可能にし、別のクリーニング担当者の必要性を排除します。これにより、非常に均一なエッチングが保証され、大規模な生産ラインでの汚染が最小限に抑えられます。すべてにおいて、TEL INDY PLUSは高度で信頼性の高いエッチャー/アッシャーであり、高いスループットで正確な結果を提供することができます。直感的なインターフェイス、低メンテナンス設計、高度な機能により、半導体処理から計測まで、さまざまなアプリケーションに適しています。
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