中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293649535 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plusは、半導体やデバイス用途の先進基板の加工に使用されるエッチャー/アッシャー装置です。TEL INDYPLUSは、高度なソフトウェアアルゴリズムを活用した高精度なパターニングプロセスを実現し、プロセス全体のエッチングとアッシングプロセスを最適化します。TOKYO ELECTRON INDY PLUSは、高アスペクト比エッチング、アンダーカットエッチング、金属酸化半導体エッチング、表面滑らかなエッチングなど、幅広いプロセスに対応できるよう設計されています。これは、2つのサブソースと2つの独立したDCプラズマ源とともに、大面積の蒸着源を備えています。これらのデュアルソースはシングルソースシステムよりも高い収率を提供し、大規模な生産に最適です。TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUSを制御するソフトウェアは、エッチングおよびアッシング処理中に基板の完全な制御と正確なパターニングを保証するように設計されています。ActiveX SDKを使用して、エッチングとアッシングプロセス全体を完全にニューラルネットワーク制御します。これにより、プロセス中に監視されたフィードバックに基づいた動的パラメータ設定が可能になります。さらに、INDY PLUSは直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスと使いやすい3つのステップレシピプログラミングユーザーインターフェイスを提供します。これにより、ユーザーにとってユニットの操作が簡単かつ簡単になります。TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUSには、スループットを最大化し、リスクを最小限に抑えるための高度なプロセス、安全性、セキュリティ機能が多数搭載されています。オンボードの安全マシンには、すべての主要なプロセスチャンバーの独立した温度監視が含まれています。さらに、可燃性ガス検出ツール、低電圧保護、低流量検出アセットを内蔵しています。これらの機能はすべて、TEL Indy Plusモデルが安全かつ確実に動作するように設計されています。さらに、セキュアなシングルユーザーアクセス機器で構成され、システムへの不正アクセスから保護されます。全体的に、TEL INDY PLUSは信頼性と高度なエッチングとアッシングユニットで、プロセス全体で最大の効率を提供します。統合された安全性とセキュリティ機能を備えたIndy Plusは、生産および研究アプリケーションに最適です。