中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293649534 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plusは、正確な結果を得るために設計された複数の機能を備えた高度なエッチャー/アッシャーです。この正確なエッチング装置は、最新の技術と一貫した300mmの6チャンバー設計を備えており、最高レベルの再現性と均一性を提供します。TEL INDYPLUSは、4k解像度でエッチング処理を視覚化できる40メガピクセルデジタルイメージングカメラをはじめ、可視化・精密エッチング用の高解像度イメージング機器を搭載しています。5つのローカル暖房所は均等に温度を配り、均一なエッチング力を提供します。デュアルステージRF信号は、エッチングプロセス全体で安定した反復可能なバイアス条件を生成します。エアーハンドリングを含む環境制御システム全体も、安定した原始的なエッチング環境を提供するために最適化されています。TOKYO ELECTRON INDY PLUSユニットは全自動モードで動作するため、エッチング工程を容易かつ効率的に行えます。エッチングレシピのすべてのステップは、高さ、温度、ガス圧力およびその他のパラメータを測定する複数の光学センサーで監視されます。これにより、ステップ時間とエッチング深度の正確な再現性が可能になります。この機械はまた、エッチング中の温度偏差を排除し、低熱拡散を保証する真空ツールを誇っています。Indy Plusのetcher/asherは取付け、維持すること容易であるように設計されています。高度なソフトウェアスイートには、直感的なオペレータインターフェイス、ユーザーフレンドリーなデータ収集のヒント、遠隔診断機能とトラブルシューティングのためのオプションのリモートアクセスが含まれています。アセットには、さまざまな種類のプロセスレシピの事前定義された手順も用意されているため、開始して目的の結果を得ることが容易になります。東京エレクトロンINDYPLUSエッチャー/アッシャーは、様々な機能と機能のおかげで、精密なエッチング結果を達成するための必須の機械です。