中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293649527 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUSは、先端半導体製造装置のグローバルサプライヤーであるTEL （TOKYO ELECTRON）が開発した有名なエッチング/アッシング装置です。この最先端のシステムは、プラズマ活性化化された化学種を通じて、幅広い使用頻度の高い半導体材料を正確にパターン化、エッチング、微細化するように設計されています。これらには、ポリシリコン、ポリイミド、窒化ケイ素、窒化エッチング、ポリドープのシリコンが含まれます。TEL INDYPLUSエッチング/アッシングプロセスには、プリエッチングとポストエッチングの2つのステップがあります。プリエッチングプロセスは、半導体材料のエッチング構成に必要なイオンを生成するために、誘導結合プラズマ（ICP）源を使用します。このステージは、基板のすべてのターゲット表面に均一で高品質のエッチングを提供します。ポストエッチングプロセスのために、東京エレクトロンINDY PLUSユニットは、印象的なデジタル強化微分異方性（DEDA）を備えています。この貴重な機能は、基板のターゲット表面に高精度のエッチングを提供します。この精密エッチングにより、INDYPLUSマシンは最大5ナノメートルの解像度を達成できます。さらに、INDY PLUSは、エッチング領域へのガスの流れが非常に均一であることを保証する穴あきベースのジオメトリを採用しています。この均一性は、プロセス全体にわたって再現性のあるエッチングパターンを保証します。Indy Plusには、エッチングパターンを検査するための高解像度顕微鏡ツールも付属しています。リアルタイムイメージングを可能にし、ユーザーはエッチング処理の進行状況を監視し、欠陥やその他の欠陥を確認することができます。TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUSアセットには、シャッターを閉めたときに照射した放射線が機器を通過するのを防ぐシャッター検出モデルも追加されています。TOKYO ELECTRON Indy Plusシステムは、再現性と精度の高い幅広い基板上で、微細構造やナノメートルスケールの機能を製造するのに最適なプラットフォームです。高度な技術とエッチング機能により、優れた性能を提供し、高度なリソグラフィ、MEMSデバイス、集積回路開発などの幅広い用途に最適です。