中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293649525 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plusは、高効率のエッチング/アッシング処理を利用した半導体マイクロエレクトロニクス加工装置です。このシステムは、さまざまなシリコン、シロキサン、その他のさまざまな半導体材料を含むさまざまな材料をエッチング/アッシングすることができます。このエッチング/アッシングユニットは、小型のフィーチャーサイズをエッチングまたはアッシングする場合に特に有効で、小型の検出器、トランジスタ、その他の半導体デバイスの処理を可能にします。エッチング/アッシングプロセスは、いくつかの精密制御ステップで構成されています。これらのステップは、信頼性の高い一貫したマイクロエレクトロニクスデバイスの生成に必要なエッチングプロセスの均一性を得るように設計されています。最初の工程では、3次元の気化パターンで対象物質を蒸発させるために、気化器を使用します。これに続いて燃料噴射機があり、これにより堆積物に追加の熱エネルギーが供給され、解離率が向上します。プロセスを均一にするために、高輝度レーザービームを基板に向け、特定の部位でターゲット材料を選択的に加熱します。熱を加えると、エッチングされた材料がプラズマ環境にさらされます。この環境は、材料を構成分子にさらなる解離をもたらします。プラズマチャンバー内の条件を正確に制御することで、部品を選択的にエッチングできます。エッチング/アッシング処理は、非常に制御された方法で材料を除去することもできます。これは、高出力のスイープビームツールを使用することによって達成されます。ビームは基板の表面に連続して渡され、材料は徐々に除去されます。最後に、結合アセットを使用して、エッチング/アッシング処理のさまざまなコンポーネントを組み合わせます。このモデルには、自動化されたコントロールパネルが含まれており、プロセス全体を個別かつ完全に制御できます。コントロールパネルは、エッチング時間、プラズマ温度、圧力、レーザー出力などのパラメータを設定するために使用されます。TEL INDYPLUSは、高効率のエッチング/アッシング装置であり、異なる材料に対してさまざまな高度なエッチング処理を提供します。このシステムは、高品質で信頼性の高いマイクロエレクトロニクスデバイスを製造するための効率的で正確なエッチングプロセスを提供するように設計されています。