中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293649523 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plusは、半導体製造業界の用途向けに設計された先進的なエッチャー/アッシャーです。精密ビーム制御機能を備えた高度な装置で、幅広いエッチングおよび灰プロセスを可能にします。このシステムは、直軸ビーム制御（DABC）と逆軸ビーム制御（IABC）の両方の機能を利用しています。また、高速イメージングユニットと独自のリソグラフィーソフトウェアを搭載しています。TEL INDYPLUSマシンは、バッチ操作モードとシングルウェーハ操作モードの両方をサポートしています。バッチ操作モードでは、1回の実行で最大200ウェハを収容できます。このモードを使用すると、手動ローディングなしで自動化されたプロセスを実行することで、スループットと生産性を向上させることができます。このツールはまた、均一なエッチングと灰の結果を保証する高度なレベリング機能を備えています。このアセットには、ユニフォームハイプラズマ（UHP）チャンバと呼ばれる専用チャンバー設計が含まれており、プラズマ源の数を増やし、対称プラズマ圧力プロファイルを作成することによってエッチングと灰プロセスを制御します。これにより、不均一なエッチングとアッシングの可能性を低減し、再現性と歩留まりを向上させることができます。また、TOKYO ELECTRON INDY PLUSモデルには、エッチング（C2E）機能を搭載しています。この機能により、クリーニング、エッチング、アッシングなどの一連のプロセス手順を自動的に設定し、効率を向上させることができます。Indy Plusの機器も最大限の安全性を確保するために設計されています。温度や圧力を含むプロセス環境を監視するためのアラームシステムが付属しています。また、緊急時の自動シャットオフ機能も備えています。全体として、INDYPLUSマシンは半導体製造のために設計された高度で高効率なエッチャー/アッシャーです。精密ビーム制御、高速イメージング、均一なハイプラズマチャンバー、クリーニングからエッチング機能、およびプロセスジョブを監視するためのアラームツールを提供し、あらゆるアプリケーションで信頼性と信頼性の高い資産となっています。